一种单晶硅片背抛光用添加剂及其应用

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202210238348.9

申请日：

2022-03-10

公开(公告)号：

CN114634766B

公开(公告)日：

2024-02-13

发明(设计)人：

马洁许秀典章圆圆陈培良

申请人：

常州时创能源股份有限公司

申请人地址：

213300 江苏省常州市溧阳市溧城镇吴潭渡路8号

IPC主分类号：

C09G1/04

IPC分类号：

C09G1/16 H01L21/304

代理机构：

代理人：

法律状态：

授权

国省代码：

江苏省常州市

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法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-02-13	授权	授权

共 50 条

[1]

一种单晶硅片背抛光用添加剂及其应用 [P].

马洁 ;

许秀典 ;

章圆圆 ;

陈培良 .

中国专利 :CN114634766A ,2022-06-17

[2]

单晶硅片碱抛光用添加剂及其应用 [P].

杨勇 ;

章圆圆 ;

陈培良 .

中国专利 :CN113668067B ,2021-11-19

[3]

一种硅片背抛光用添加剂及其应用 [P].

许秀典 ;

马洁 ;

章圆圆 ;

陈培良 .

中国专利 :CN115386302A ,2022-11-25

[4]

单晶硅片链式制绒用添加剂及其应用 [P].

周树伟 ;

张丽娟 ;

陈培良 ;

贺婷婷 .

中国专利 :CN111593412B ,2020-08-28

[5]

一种单晶硅片制绒添加剂 [P].

姜翰钦 ;

吴金丹 ;

周小国 .

中国专利 :CN107747131A ,2018-03-02

[6]

硅片碱抛光用添加剂及其应用 [P].

裴银强 ;

章圆圆 ;

陈培良 .

中国专利 :CN114032035B ,2022-02-11

[7]

一种单晶硅片制绒添加剂及其制备方法和制绒工艺 [P].

李翔 .

中国专利 :CN117926428A ,2024-04-26

[8]

一种单晶硅片制绒添加剂及其应用 [P].

喻桉 ;

史华红 ;

麦裕良 ;

文武 .

中国专利 :CN112813501A ,2021-05-18

[9]

单晶硅片制绒添加剂及其使用方法 [P].

符黎明 ;

陈培良 .

中国专利 :CN103451739B ,2013-12-18

[10]

一种单晶硅片制绒添加剂 [P].

姜翰钦 .

中国专利 :CN106521636A ,2017-03-22

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