一种内腔通道堵塞检测装置及方法

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专利类型
发明
申请号
CN202311677820.X
申请日
2023-12-08
公开(公告)号
CN117665962A
公开(公告)日
2024-03-08
发明(设计)人
洪银秀 林万忠 吴旭栋
申请人
苏州明志科技股份有限公司
申请人地址
215217 江苏省苏州市吴江区同里镇同肖西路1999号
IPC主分类号
G01V9/00
IPC分类号
G01M3/26 G01M3/32 G01M3/28 G01M13/00
代理机构
北京品源专利代理有限公司 11332
代理人
魏全娥
法律状态
公开
国省代码
江苏省 苏州市
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共 50 条
[1]
一种内腔检测装置 [P]. 
高炬 .
中国专利 :CN215264039U ,2021-12-21
[2]
一种芯板内腔检测装置及其方法 [P]. 
张跃 ;
徐国新 ;
宋飞跃 ;
陈榆 .
中国专利 :CN110672811A ,2020-01-10
[3]
一种道路质量检测装置及检测方法 [P]. 
汪海年 ;
张琛 ;
惠冰 ;
杨旭 ;
屈鑫 ;
刘胜兰 .
中国专利 :CN115655073A ,2023-01-31
[4]
一种静电卡盘细孔堵塞检测装置及检测方法 [P]. 
石锗元 ;
陈茂雄 ;
李君 ;
肖伟 .
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[5]
腔内晶圆位置检测装置及检测方法 [P]. 
王兆祥 ;
吴磊 ;
梁洁 ;
涂乐义 ;
谭小龙 .
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[6]
一种内腔直径检测装置及方法 [P]. 
杨子英 ;
唐晓东 ;
陈宏海 ;
庄涛 ;
李硕 .
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[7]
一种涂层牢固度检测装置及检测方法 [P]. 
汪鸿涛 ;
李明辉 ;
程吉卓 ;
韩梅 ;
吴瀚明 .
中国专利 :CN118225680B ,2024-10-01
[8]
一种涂层牢固度检测装置及检测方法 [P]. 
汪鸿涛 ;
李明辉 ;
程吉卓 ;
韩梅 ;
吴瀚明 .
中国专利 :CN118225680A ,2024-06-21
[9]
一种内腔的视觉检测机及内腔的检测方法 [P]. 
郑长文 ;
高久平 .
中国专利 :CN113848212B ,2025-04-11
[10]
一种内腔的视觉检测机及内腔的检测方法 [P]. 
郑长文 ;
高久平 .
中国专利 :CN113848212A ,2021-12-28