一种静电卡盘细孔堵塞检测装置及检测方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202111147829.0

申请日：

2021-09-29

公开(公告)号：

CN114061648A

公开(公告)日：

2022-02-18

发明(设计)人：

石锗元陈茂雄李君肖伟

申请人：

申请人地址：

314400 浙江省嘉兴市海宁市海宁经济开发区隆兴路118号1514室

IPC主分类号：

G01D2100

IPC分类号：

代理机构：

北京喆翙知识产权代理有限公司 11616

代理人：

李灿

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-02-18	公开	公开
2022-03-08	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G01D 21/00 申请日:20210929

共 50 条

[1]

一种静电卡盘细孔的堵塞检测装置 [P].

李君 ;

陈茂雄 ;

石锗元 ;

肖伟 .

中国专利 :CN114061647A ,2022-02-18

[2]

一种静电卡盘孔堵塞检测装置及检测方法 [P].

石锗元 ;

李君 ;

陈振宁 ;

肖伟 ;

陈庶舒 .

中国专利 :CN118913544A ,2024-11-08

[3]

一种静电卡盘孔堵塞检测疏通装置及方法 [P].

李君 ;

石锗元 ;

肖伟 ;

戴毅 ;

李博仁 .

中国专利 :CN118706343A ,2024-09-27

[4]

静电卡盘性能检测装置及检测方法 [P].

王建冲 ;

韩玮琦 ;

杨鹏远 ;

唐娜娜 ;

张玉利 ;

侯占杰 ;

荣吉平 ;

黎远成 ;

姜鑫 .

中国专利 :CN110873640A ,2020-03-10

[5]

一种静电卡盘基本性能检测装置及其检测方法 [P].

季林红 ;

王珂晟 ;

程嘉 ;

王兴阔 ;

徐登峰 ;

许岩 ;

张旭光 ;

杨义勇 .

中国专利 :CN103698068B ,2014-04-02

[6]

静电卡盘静电力的检测系统及检测方法 [P].

程嘉 ;

王珂晟 ;

张俊斌 ;

王建冲 ;

钟音 ;

路益嘉 ;

季林红 .

中国专利 :CN105241599B ,2016-01-13

[7]

静电卡盘电源的电流检测装置和电流检测方法 [P].

姜宏伟 ;

陈庆 ;

李玉站 ;

白美林 .

中国专利 :CN104749413A ,2015-07-01

[8]

静电吸盘检测装置及检测方法 [P].

李帅辰 ;

杨辉 .

中国专利 :CN119881494A ,2025-04-25

[9]

一种管道堵塞检测装置及检测方法 [P].

徐艳 ;

谭小兵 ;

徐伟超 .

中国专利 :CN117847445A ,2024-04-09

[10]

导管堵塞检测装置及导管堵塞检测方法 [P].

桥诘匠 ;

涌井彻也 ;

荣野隼一 ;

宫地宣夫 ;

结城义敬 .

中国专利 :CN101256106A ,2008-09-03

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