静电卡盘静电力的检测系统及检测方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201510743907.1

申请日：

2015-11-05

公开(公告)号：

CN105241599B

公开(公告)日：

2016-01-13

发明(设计)人：

程嘉王珂晟张俊斌王建冲钟音路益嘉季林红

申请人：

申请人地址：

100084 北京市海淀区北京100084-82信箱

IPC主分类号：

G01L500

IPC分类号：

代理机构：

深圳市鼎言知识产权代理有限公司 44311

代理人：

任伟

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-02-10	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101645691052 IPC(主分类):G01L 5/00 专利申请号:2015107439071 申请日:20151105
2017-09-22	授权	授权
2016-01-13	公开	公开

共 50 条

[1]

静电卡盘静电力的检测系统 [P].

程嘉 ;

王珂晟 ;

张俊斌 ;

王建冲 ;

钟音 ;

路益嘉 ;

季林红 .

中国专利 :CN205192672U ,2016-04-27

[2]

平衡静电力的方法和静电卡盘 [P].

师帅涛 .

中国专利 :CN110491819B ,2019-11-22

[3]

测量静电卡盘的静电力的装置 [P].

程嘉 ;

曹明路 ;

季林红 .

中国专利 :CN103376176A ,2013-10-30

[4]

测量静电卡盘的静电力的装置 [P].

程嘉 ;

曹明路 ;

季林红 .

中国专利 :CN203443718U ,2014-02-19

[5]

一种静电卡盘静电力的测试方法及系统 [P].

杨亚辉 .

中国专利 :CN119555260A ,2025-03-04

[6]

一种静电卡盘的静电力的测试方法及系统 [P].

杨亚辉 .

中国专利 :CN119555261A ,2025-03-04

[7]

静电卡盘性能检测装置及检测方法 [P].

王建冲 ;

韩玮琦 ;

杨鹏远 ;

唐娜娜 ;

张玉利 ;

侯占杰 ;

荣吉平 ;

黎远成 ;

姜鑫 .

中国专利 :CN110873640A ,2020-03-10

[8]

静电卡盘及静电卡盘的制造方法 [P].

小野浩司 .

中国专利 :CN112534565A ,2021-03-19

[9]

静电卡盘及静电卡盘的制备方法 [P].

周山山 ;

司合帅 .

中国专利 :CN119050042A ,2024-11-29

[10]

静电卡盘的制法及静电卡盘 [P].

木村拓二 ;

高桥贵博 ;

中西宏和 .

中国专利 :CN102731072B ,2012-10-17

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