一种静电卡盘的静电力的测试方法及系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202510128074.1

申请日：

2025-02-05

公开(公告)号：

CN119555261A

公开(公告)日：

2025-03-04

发明(设计)人：

杨亚辉

申请人：

鸿舸半导体设备（上海）有限公司

申请人地址：

201306 上海市浦东新区临港新片区天骄路399号2号多层厂房

IPC主分类号：

G01L5/00

IPC分类号：

代理机构：

北京超凡宏宇知识产权代理有限公司 11463

代理人：

王晓菲

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

浙江省衢州市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-03-21	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):G01L 5/00申请日:20250205
2025-03-04	公开	公开
2025-12-09	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回IPC(主分类):G01L 5/00申请公布日:20250304

共 50 条

[1]

一种静电卡盘静电力的测试方法及系统 [P].

杨亚辉 .

中国专利 :CN119555260A ,2025-03-04

[2]

静电卡盘静电力的检测系统 [P].

程嘉 ;

王珂晟 ;

张俊斌 ;

王建冲 ;

钟音 ;

路益嘉 ;

季林红 .

中国专利 :CN205192672U ,2016-04-27

[3]

测量静电卡盘的静电力的装置 [P].

程嘉 ;

曹明路 ;

季林红 .

中国专利 :CN103376176A ,2013-10-30

[4]

测量静电卡盘的静电力的装置 [P].

程嘉 ;

曹明路 ;

季林红 .

中国专利 :CN203443718U ,2014-02-19

[5]

静电卡盘静电力的检测系统及检测方法 [P].

程嘉 ;

王珂晟 ;

张俊斌 ;

王建冲 ;

钟音 ;

路益嘉 ;

季林红 .

中国专利 :CN105241599B ,2016-01-13

[6]

平衡静电力的方法和静电卡盘 [P].

师帅涛 .

中国专利 :CN110491819B ,2019-11-22

[7]

用于静电卡盘电源的电压补偿装置及静电卡盘系统 [P].

王雷 ;

张博 .

中国专利 :CN121008641A ,2025-11-25

[8]

静电卡盘及静电卡盘的制造方法 [P].

小野浩司 .

中国专利 :CN112534565A ,2021-03-19

[9]

静电卡盘及静电卡盘的制备方法 [P].

周山山 ;

司合帅 .

中国专利 :CN119050042A ,2024-11-29

[10]

静电卡盘的制法及静电卡盘 [P].

木村拓二 ;

高桥贵博 ;

中西宏和 .

中国专利 :CN102731072B ,2012-10-17

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