平衡静电力的方法和静电卡盘

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201810455618.5

申请日：

2018-05-14

公开(公告)号：

CN110491819B

公开(公告)日：

2019-11-22

发明(设计)人：

师帅涛

申请人：

申请人地址：

100176 北京市北京经济技术开发区文昌大道8号

IPC主分类号：

H01L21683

IPC分类号：

代理机构：

北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112

代理人：

彭瑞欣;姜春咸

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-11-12	授权	授权
2019-12-17	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/683 申请日:20180514
2019-11-22	公开	公开

共 50 条

[1]

静电卡盘静电力的检测系统 [P].

程嘉 ;

王珂晟 ;

张俊斌 ;

王建冲 ;

钟音 ;

路益嘉 ;

季林红 .

中国专利 :CN205192672U ,2016-04-27

[2]

测量静电卡盘的静电力的装置 [P].

程嘉 ;

曹明路 ;

季林红 .

中国专利 :CN103376176A ,2013-10-30

[3]

测量静电卡盘的静电力的装置 [P].

程嘉 ;

曹明路 ;

季林红 .

中国专利 :CN203443718U ,2014-02-19

[4]

静电卡盘的制造方法和静电卡盘 [P].

多贺敏 ;

小林義之 ;

永关一也 .

中国专利 :CN109216253A ,2019-01-15

[5]

静电卡盘的再生方法和静电卡盘 [P].

喜多川大 .

中国专利 :CN111048387A ,2020-04-21

[6]

静电卡盘的再生方法和静电卡盘 [P].

喜多川大 .

日本专利 :CN111048387B ,2024-04-05

[7]

静电卡盘的制法和静电卡盘 [P].

曻和宏 ;

江口正人 ;

木村拓二 .

中国专利 :CN102738054A ,2012-10-17

[8]

静电卡盘静电力的检测系统及检测方法 [P].

程嘉 ;

王珂晟 ;

张俊斌 ;

王建冲 ;

钟音 ;

路益嘉 ;

季林红 .

中国专利 :CN105241599B ,2016-01-13

[9]

静电卡盘装置和静电吸附方法 [P].

松崎荣 .

中国专利 :CN108242421B ,2018-07-03

[10]

静电卡盘板和静电卡盘板的制造方法 [P].

松崎荣 .

中国专利 :CN107919312A ,2018-04-17

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