测量静电卡盘的静电力的装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310251181.0

申请日：

2013-06-21

公开(公告)号：

CN103376176A

公开(公告)日：

2013-10-30

发明(设计)人：

程嘉曹明路季林红

申请人：

申请人地址：

100084 北京市海淀区100084-82信箱

IPC主分类号：

G01L500

IPC分类号：

代理机构：

北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201

代理人：

宋合成;黄德海

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-11-27	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101545325091 IPC(主分类):G01L 5/00 专利申请号:2013102511810 申请日:20130621
2015-10-28	授权	授权
2013-10-30	公开	公开

共 50 条

[1]

测量静电卡盘的静电力的装置 [P].

程嘉 ;

曹明路 ;

季林红 .

中国专利 :CN203443718U ,2014-02-19

[2]

静电卡盘静电力的检测系统 [P].

程嘉 ;

王珂晟 ;

张俊斌 ;

王建冲 ;

钟音 ;

路益嘉 ;

季林红 .

中国专利 :CN205192672U ,2016-04-27

[3]

平衡静电力的方法和静电卡盘 [P].

师帅涛 .

中国专利 :CN110491819B ,2019-11-22

[4]

静电卡盘静电力的检测系统及检测方法 [P].

程嘉 ;

王珂晟 ;

张俊斌 ;

王建冲 ;

钟音 ;

路益嘉 ;

季林红 .

中国专利 :CN105241599B ,2016-01-13

[5]

一种静电卡盘的静电力的测试方法及系统 [P].

杨亚辉 .

中国专利 :CN119555261A ,2025-03-04

[6]

一种静电卡盘静电力的测试方法及系统 [P].

杨亚辉 .

中国专利 :CN119555260A ,2025-03-04

[7]

静电卡盘静电吸附力的测量装置 [P].

徐登峰 ;

许岩 ;

唐娜娜 ;

张旭光 ;

朱煜 ;

穆海华 ;

程嘉 ;

王珂晟 .

中国专利 :CN104062040A ,2014-09-24

[8]

静电卡盘的制法和静电卡盘 [P].

曻和宏 ;

江口正人 ;

木村拓二 .

中国专利 :CN102738054A ,2012-10-17

[9]

静电卡盘部件、静电卡盘装置及静电卡盘部件的制造方法 [P].

乾敏祥 ;

一由拓 ;

大塚刚史 .

日本专利 :CN118339645A ,2024-07-12

[10]

静电卡盘部件、静电卡盘装置及静电卡盘部件的制造方法 [P].

金原勇贵 ;

乾敏祥 ;

一由拓 ;

菅又彻 .

日本专利 :CN118830071A ,2024-10-22

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