一种静电卡盘孔堵塞检测装置及检测方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202410840075.4

申请日：

2024-06-26

公开(公告)号：

CN118913544A

公开(公告)日：

2024-11-08

发明(设计)人：

石锗元李君陈振宁肖伟陈庶舒

申请人：

君原电子科技（海宁）有限公司

申请人地址：

314400 浙江省嘉兴市海宁市海宁经济开发区谷水路306号天通泛半导体产业园2幢

IPC主分类号：

G01M3/20

IPC分类号：

G01M3/26

代理机构：

代理人：

法律状态：

公开

国省代码：

安徽省宣城市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-11-08	公开	公开
2024-11-26	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):G01M 3/20申请日:20240626

共 50 条

[1]

一种静电卡盘细孔堵塞检测装置及检测方法 [P].

石锗元 ;

陈茂雄 ;

李君 ;

肖伟 .

中国专利 :CN114061648A ,2022-02-18

[2]

一种静电卡盘孔堵塞检测疏通装置及方法 [P].

李君 ;

石锗元 ;

肖伟 ;

戴毅 ;

李博仁 .

中国专利 :CN118706343A ,2024-09-27

[3]

静电卡盘性能检测装置及检测方法 [P].

王建冲 ;

韩玮琦 ;

杨鹏远 ;

唐娜娜 ;

张玉利 ;

侯占杰 ;

荣吉平 ;

黎远成 ;

姜鑫 .

中国专利 :CN110873640A ,2020-03-10

[4]

一种静电卡盘细孔的堵塞检测装置 [P].

李君 ;

陈茂雄 ;

石锗元 ;

肖伟 .

中国专利 :CN114061647A ,2022-02-18

[5]

一种静电卡盘基本性能检测装置及其检测方法 [P].

季林红 ;

王珂晟 ;

程嘉 ;

王兴阔 ;

徐登峰 ;

许岩 ;

张旭光 ;

杨义勇 .

中国专利 :CN103698068B ,2014-04-02

[6]

一种静电卡盘基板冷却孔漏气检测装置 [P].

石锗元 ;

陈茂雄 ;

李君 ;

肖伟 .

中国专利 :CN115615621A ,2023-01-17

[7]

目标孔堵塞的检测方法、检测装置及移动终端 [P].

陈宇 ;

马宁 ;

杨依珍 .

中国专利 :CN112600975A ,2021-04-02

[8]

静电卡盘静电力的检测系统及检测方法 [P].

程嘉 ;

王珂晟 ;

张俊斌 ;

王建冲 ;

钟音 ;

路益嘉 ;

季林红 .

中国专利 :CN105241599B ,2016-01-13

[9]

静电卡盘电源的电流检测装置和电流检测方法 [P].

姜宏伟 ;

陈庆 ;

李玉站 ;

白美林 .

中国专利 :CN104749413A ,2015-07-01

[10]

一种孔式端子检测装置及检测方法 [P].

杜延平 ;

靳官玺 ;

杨晓飞 .

中国专利 :CN120275384A ,2025-07-08

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