一种静电卡盘基本性能检测装置及其检测方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310656962.8

申请日：

2013-12-06

公开(公告)号：

CN103698068B

公开(公告)日：

2014-04-02

发明(设计)人：

季林红王珂晟程嘉王兴阔徐登峰许岩张旭光杨义勇

申请人：

申请人地址：

100084 北京市海淀区北京市100084-82信箱

IPC主分类号：

G01L500

IPC分类号：

H01L2166

代理机构：

北京众合诚成知识产权代理有限公司 11246

代理人：

陈波

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-11-12	授权	授权
2014-04-30	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101581902797 IPC(主分类):G01L 5/00 专利申请号:2013106569628 申请日:20131206
2014-10-15	著录事项变更	著录事项变更号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101706001127 IPC(主分类):G01L 5/00 专利申请号:2013106569628 变更事项:发明人变更前:程嘉;王珂晟;王兴阔;季林红;朱晓莹变更后:季林红;王珂晟;程嘉;王兴阔;徐登峰;许岩;张旭光;杨义勇
2014-04-02	公开	公开

共 50 条

[1]

一种静电卡盘基本性能检测装置 [P].

程嘉 ;

王珂晟 ;

王兴阔 ;

季林红 ;

朱晓莹 .

中国专利 :CN203657947U ,2014-06-18

[2]

静电卡盘性能检测装置及检测方法 [P].

王建冲 ;

韩玮琦 ;

杨鹏远 ;

唐娜娜 ;

张玉利 ;

侯占杰 ;

荣吉平 ;

黎远成 ;

姜鑫 .

中国专利 :CN110873640A ,2020-03-10

[3]

一种静电卡盘孔堵塞检测装置及检测方法 [P].

石锗元 ;

李君 ;

陈振宁 ;

肖伟 ;

陈庶舒 .

中国专利 :CN118913544A ,2024-11-08

[4]

一种静电卡盘细孔堵塞检测装置及检测方法 [P].

石锗元 ;

陈茂雄 ;

李君 ;

肖伟 .

中国专利 :CN114061648A ,2022-02-18

[5]

一种静电卡盘静电吸附力测量装置 [P].

石锗元 ;

陈茂雄 ;

李君 ;

肖伟 .

中国专利 :CN115165183B ,2025-05-09

[6]

一种闭锁器性能综合检测装置及其检测方法 [P].

蒋雄伟 ;

赖特 ;

李新维 ;

陈红 .

中国专利 :CN103412559B ,2013-11-27

[7]

变速箱的实时基本性能检测系统 [P].

丁锋 ;

芦珺晗 ;

李炘雨 ;

卢嘉鹏 ;

杨晶晶 ;

王雅洁 .

中国专利 :CN113375928A ,2021-09-10

[8]

静电卡盘电源的电流检测装置和电流检测方法 [P].

姜宏伟 ;

陈庆 ;

李玉站 ;

白美林 .

中国专利 :CN104749413A ,2015-07-01

[9]

一种钢筋性能检测装置及其检测方法 [P].

吴斌 ;

舒奥雄 ;

史永锋 ;

祝浩然 ;

王柄为 ;

党政 ;

杨林 ;

伍鸾宇 .

中国专利 :CN117571063A ,2024-02-20

[10]

一种钢筋性能检测装置及其检测方法 [P].

吴斌 ;

舒奥雄 ;

史永锋 ;

祝浩然 ;

王柄为 ;

党政 ;

杨林 ;

伍鸾宇 .

中国专利 :CN117571063B ,2024-04-09

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