以激光烧蚀形成深度可变结构

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202180020367.8

申请日：

2021-02-05

公开(公告)号：

CN115280192B

公开(公告)日：

2024-06-07

发明(设计)人：

彼得·库伦齐约瑟夫·奥尔森摩根·埃文斯罗格·梅耶·蒂默曼·蒂杰森

申请人：

应用材料公司

申请人地址：

美国加利福尼亚州

IPC主分类号：

G02B5/18

IPC分类号：

G02B27/01

代理机构：

北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006

代理人：

徐金国;赵静

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-06-07	授权	授权

共 50 条

[1]

激光烧蚀特征形成装置 [P].

D·J·特雷德韦尔 ;

C·L·休梅克 .

中国专利 :CN1326392A ,2001-12-12

[2]

激光烧蚀 [P].

彼得·巴林 .

中国专利 :CN1478007A ,2004-02-25

[3]

掩膜作轨道运动以形成激光烧蚀的特征物 [P].

C·L·休梅克 ;

L·A·阿吉雷 .

中国专利 :CN1326394A ,2001-12-12

[4]

激光烧蚀系统 [P].

A·V·洛博达 .

中国专利 :CN109791868A ,2019-05-21

[5]

交错激光烧蚀 [P].

K·L·吉林斯 .

中国专利 :CN211661335U ,2020-10-13

[6]

激光烧蚀单元 [P].

德特勒夫·巩特尔 ;

丹尼尔·格罗利蒙德 ;

浩·王 .

中国专利 :CN105324832A ,2016-02-10

[7]

激光烧蚀抗蚀剂 [P].

S·E·飞利普 ;

T·J·崔威尔 ;

L·W·塔特 ;

G·T·皮尔斯 ;

K·恩古颜 ;

R·M·威克勒 .

中国专利 :CN101454720B ,2009-06-10

[8]

激光烧蚀机 [P].

谢大浪 ;

黄运 ;

郑新民 ;

吕晨曦 ;

江军 ;

张伟胜 ;

尹建刚 ;

唐建刚 .

中国专利 :CN309485717S ,2025-09-09

[9]

通过激光烧蚀形成耳塞的方法 [P].

邓肯·泰勒 .

中国专利 :CN101301241A ,2008-11-12

[10]

激光烧蚀扫描法 [P].

K·L·奥普戴克 .

中国专利 :CN1090803A ,1994-08-17

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