装置、装置的控制方法、信息处理装置、信息处理方法、以及物品制造方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN202311332998.0
申请日
2023-10-13
公开(公告)号
CN117891137A
公开(公告)日
2024-04-16
发明(设计)人
茂泉纯
申请人
佳能株式会社
申请人地址
日本东京
IPC主分类号
G03F7/20
IPC分类号
G03B27/52
代理机构
中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038
代理人
张劲松
法律状态
实质审查的生效
国省代码
引用
下载
收藏
共 50 条
[1]
信息处理装置、信息处理方法以及物品的制造方法 [P]. 
根谷尚稔 ;
铃木彻 ;
山本将志 ;
米田慎吾 ;
黑泽良昭 ;
日置真则 .
中国专利 :CN114859663A ,2022-08-05
[2]
信息处理装置、曝光装置、以及物品制造方法 [P]. 
北川纯 ;
白尾纮祥 ;
米田慎吾 ;
木岛涉 ;
高井雄大 .
日本专利 :CN118974660A ,2024-11-15
[3]
信息处理装置、信息处理方法、存储介质、曝光方法、基板处理装置以及物品的制造方法 [P]. 
朝日亮吏 ;
栢森翔太 .
日本专利 :CN119225122A ,2024-12-31
[4]
控制装置、信息处理装置、控制方法以及信息处理方法 [P]. 
鲁仙·出杏光 .
中国专利 :CN115385039A ,2022-11-25
[5]
确定方法、信息处理装置、曝光装置以及物品制造方法 [P]. 
永井善之 .
中国专利 :CN107450277B ,2017-12-08
[6]
信息处理装置以及信息处理方法 [P]. 
三谷由香 ;
入口健二 ;
松原晋 ;
岩崎隆至 .
中国专利 :CN101743547B ,2010-06-16
[7]
信息处理装置以及信息处理方法 [P]. 
佐佐木崇光 .
中国专利 :CN113542304A ,2021-10-22
[8]
信息处理方法以及信息处理装置 [P]. 
田崎克 .
中国专利 :CN111868711A ,2020-10-30
[9]
信息处理装置以及信息处理方法 [P]. 
高塚洋平 .
中国专利 :CN106156266A ,2016-11-23
[10]
信息处理装置以及信息处理方法 [P]. 
驹岭聪史 .
中国专利 :CN114648265A ,2022-06-21