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一种晶圆机械臂用承载机构
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202322504451.6
申请日：
2023-09-15
公开(公告)号：
CN220762675U
公开(公告)日：
2024-04-12
发明(设计)人：
王亮
邵淑兰
章晓丹
史小旖
申请人：
众芯联达半导体科技（大连）有限公司
申请人地址：
116000 辽宁省大连市保税区自贸大厦816室
IPC主分类号：
B25J15/08
IPC分类号：
B25J15/02
代理机构：
深圳市成为知识产权代理事务所(普通合伙) 44704
代理人：
陈秋云
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-04-12 | 授权 | 授权 |