一种晶圆蚀刻清洗机用晶圆夹持机构

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202421338642.8

申请日：

2024-06-13

公开(公告)号：

CN222720398U

公开(公告)日：

2025-04-04

发明(设计)人：

徐福兴王静强胡兴华

申请人：

昆山基侑电子科技有限公司

申请人地址：

215314 江苏省苏州市昆山市周市镇黄浦江北路333号A-1厂房

IPC主分类号：

H01L21/687

IPC分类号：

H01L21/67

代理机构：

苏州中知捷兴知识产权代理事务所(普通合伙) 32709

代理人：

李靖

法律状态：

授权

国省代码：

江苏省苏州市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-04-04	授权	授权

共 50 条

[1]

一种晶圆清洗机用晶圆夹持机构 [P].

肖真方 .

中国专利 :CN220774330U ,2024-04-12

[2]

晶圆夹持机构和晶圆清洗机 [P].

刘世强 .

中国专利 :CN216871911U ,2022-07-01

[3]

一种晶圆夹持机构和晶圆清洗机 [P].

张威 ;

蒋忠 ;

黄强 .

中国专利 :CN120280377A ,2025-07-08

[4]

一种晶圆清洗机夹持机构 [P].

王宜 ;

王瑜 ;

王嘉玮 .

中国专利 :CN222995390U ,2025-06-17

[5]

晶圆清洗机 [P].

唐君 ;

阙进林 ;

李永祥 ;

成林 .

中国专利 :CN215656627U ,2022-01-28

[6]

晶圆清洗机 [P].

唐君 ;

阙进林 ;

李永祥 ;

成林 .

中国专利 :CN214488000U ,2021-10-26

[7]

晶圆清洗机 [P].

廖招军 ;

于飞 ;

张智广 ;

吴鹏飞 ;

陈浩 .

中国专利 :CN217191177U ,2022-08-16

[8]

晶圆清洗机 [P].

孙雅华 ;

吕修壮 ;

李伟平 ;

张财宝 .

中国专利 :CN222581111U ,2025-03-07

[9]

晶圆盒夹持装置及晶圆清洗机 [P].

李广义 .

中国专利 :CN111244022B ,2020-06-05

[10]

一种晶圆夹持机构和晶圆清洗装置 [P].

刘丰迪 ;

徐俊成 ;

王鹏 .

中国专利 :CN218215262U ,2023-01-03

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