一种晶圆清洗机夹持机构

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202422166868.0

申请日：

2024-09-04

公开(公告)号：

CN222995390U

公开(公告)日：

2025-06-17

发明(设计)人：

王宜王瑜王嘉玮

申请人：

无锡瑞达半导体专用设备有限公司

申请人地址：

214000 江苏省无锡市滨湖区十八湾路288号湖景科技园9号楼

IPC主分类号：

H01L21/687

IPC分类号：

F16F15/067

代理机构：

无锡智麦知识产权代理事务所(普通合伙) 32492

代理人：

刘咏华

法律状态：

授权

国省代码：

江苏省无锡市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-06-17	授权	授权

共 50 条

[1]

一种晶圆清洗机用晶圆夹持机构 [P].

肖真方 .

中国专利 :CN220774330U ,2024-04-12

[2]

晶圆夹持机构和晶圆清洗机 [P].

刘世强 .

中国专利 :CN216871911U ,2022-07-01

[3]

一种晶圆夹持机构和晶圆清洗机 [P].

张威 ;

蒋忠 ;

黄强 .

中国专利 :CN120280377A ,2025-07-08

[4]

一种晶圆蚀刻清洗机用晶圆夹持机构 [P].

徐福兴 ;

王静强 ;

胡兴华 .

中国专利 :CN222720398U ,2025-04-04

[5]

一种晶圆清洗机构 [P].

王利兵 .

中国专利 :CN221766711U ,2024-09-24

[6]

晶圆清洗机 [P].

唐君 ;

阙进林 ;

李永祥 ;

成林 .

中国专利 :CN215656627U ,2022-01-28

[7]

晶圆清洗机 [P].

唐君 ;

阙进林 ;

李永祥 ;

成林 .

中国专利 :CN214488000U ,2021-10-26

[8]

晶圆清洗机 [P].

孙雅华 ;

吕修壮 ;

李伟平 ;

张财宝 .

中国专利 :CN222581111U ,2025-03-07

[9]

晶圆清洗机 [P].

廖招军 ;

于飞 ;

张智广 ;

吴鹏飞 ;

陈浩 .

中国专利 :CN217191177U ,2022-08-16

[10]

一种晶圆清洗机 [P].

陆金发 ;

殷秋鹤 ;

刘兆山 ;

郭云静 .

中国专利 :CN217797676U ,2022-11-15

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