晶圆支撑销升降装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202011633338.2

申请日：

2020-12-31

公开(公告)号：

CN112736020B

公开(公告)日：

2024-06-07

发明(设计)人：

杨德赞杨华龙吴凤丽

申请人：

拓荆科技股份有限公司

申请人地址：

110179 辽宁省沈阳市浑南区水家900号

IPC主分类号：

H01L21/687

IPC分类号：

代理机构：

上海专利商标事务所有限公司 31100

代理人：

徐伟

法律状态：

授权

国省代码：

辽宁省沈阳市

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-06-07	授权	授权

共 50 条

[1]

晶圆支撑销升降装置 [P].

杨德赞 ;

杨华龙 ;

吴凤丽 .

中国专利 :CN112736020A ,2021-04-30

[2]

晶圆升降装置 [P].

曹伟刚 ;

田华 .

中国专利 :CN203536401U ,2014-04-09

[3]

晶圆基板传送升降装置 [P].

蓝远锋 .

中国专利 :CN213802750U ,2021-07-27

[4]

晶圆升降装置及晶圆传送系统 [P].

张军 ;

沈超 .

中国专利 :CN214012925U ,2021-08-20

[5]

一种晶圆升降装置 [P].

肖凤德 ;

王妍智 .

中国专利 :CN221149981U ,2024-06-14

[6]

一种晶圆升降装置 [P].

于强 ;

于如远 ;

李广德 .

中国专利 :CN215342551U ,2021-12-28

[7]

一种晶圆升降装置 [P].

郭继伟 ;

王妍智 .

中国专利 :CN221149980U ,2024-06-14

[8]

输送晶圆用升降装置 [P].

陈概礼 ;

刘红兵 ;

黄春杰 .

中国专利 :CN203118924U ,2013-08-07

[9]

晶圆支撑基座 [P].

彭勃 ;

周雷 .

中国专利 :CN103811400A ,2014-05-21

[10]

支撑销装置、支撑销配置方法和配置装置 [P].

伊藤秀俊 ;

前田文隆 .

中国专利 :CN102238862A ,2011-11-09

← 1 2 3 4 5 →