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晶圆支撑基座
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201410086113.8
申请日：
2014-03-10
公开(公告)号：
CN103811400A
公开(公告)日：
2014-05-21
发明(设计)人：
彭勃
周雷
申请人：
申请人地址：
201203 上海市浦东新区张江高科技园区祖冲之路1399号
IPC主分类号：
H01L21687
IPC分类号：
代理机构：
北京集佳知识产权代理有限公司 11227
代理人：
高静;骆苏华
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2014-05-21 | 公开 | 公开 |
| 2014-06-25 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101583080752 IPC(主分类):H01L 21/687 专利申请号:2014100861138 申请日:20140310 |
| 2017-12-08 | 发明专利申请公布后的驳回 | 发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):H01L 21/687 申请公布日:20140521 |