晶圆装卸载位的支撑结构

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202120818795.2

申请日：

2021-04-21

公开(公告)号：

CN214672564U

公开(公告)日：

2021-11-09

发明(设计)人：

代勇曹春生阚保国栾剑峰

申请人：

申请人地址：

214028 江苏省无锡市新吴区新洲路30号

IPC主分类号：

H01L21687

IPC分类号：

代理机构：

上海浦一知识产权代理有限公司 31211

代理人：

栾美洁

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-11-09	授权	授权

共 50 条

[1]

一种手动晶圆装卸载装置 [P].

陈鲁 ;

张朝前 ;

刘虹遥 ;

杨乐 ;

马砚忠 ;

路鑫超 .

中国专利 :CN206076208U ,2017-04-05

[2]

晶圆装卸系统 [P].

蔡易霖 ;

蔡俊郎 .

中国专利 :CN215680636U ,2022-01-28

[3]

晶圆装卸机 [P].

朱育民 ;

钟卓君 ;

黄嘉修 .

中国专利 :CN212221617U ,2020-12-25

[4]

晶圆盒盖装卸机构及晶圆装卸装置 [P].

成超 ;

江敏 ;

滕翔宇 ;

陈万群 ;

王正根 .

中国专利 :CN222867648U ,2025-05-13

[5]

一种晶圆支撑环及晶圆支撑结构 [P].

王达 ;

朱联联 .

中国专利 :CN222619740U ,2025-03-14

[6]

用于支撑卸载的辅助结构 [P].

刘永刚 ;

向波 ;

沈志才 .

中国专利 :CN214740179U ,2021-11-16

[7]

卸载支撑结构、卸载支撑装置及卸载支撑系统 [P].

王伟强 ;

黎健 ;

杨松 ;

陈进 ;

宁翰 ;

李维孔 .

中国专利 :CN209397952U ,2019-09-17

[8]

晶圆映射机构及包含其的晶圆装卸机 [P].

萧擎宇 ;

王柏仁 .

中国专利 :CN221927987U ,2024-10-29

[9]

晶圆支撑基座 [P].

彭勃 ;

周雷 .

中国专利 :CN103811400A ,2014-05-21

[10]

晶圆支撑装置 [P].

王国栋 ;

许振杰 ;

王同庆 ;

李昆 ;

路新春 .

中国专利 :CN206672910U ,2017-11-24

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