晶圆支撑装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201621085830.X

申请日：

2016-09-27

公开(公告)号：

CN206672910U

公开(公告)日：

2017-11-24

发明(设计)人：

王国栋许振杰王同庆李昆路新春

申请人：

申请人地址：

300350 天津市津南区海河科技园区聚兴道9号，8号楼

IPC主分类号：

H01L21687

IPC分类号：

代理机构：

北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201

代理人：

黄德海

法律状态：

专利权人的姓名或者名称、地址的变更

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-07-03	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):H01L 21/687 变更事项:专利权人变更前:天津华海清科机电科技有限公司变更后:华海清科股份有限公司变更事项:地址变更前:300350 天津市津南区海河科技园区聚兴道9号，8号楼变更后:300350 天津市津南区海河科技园区聚兴道9号，8号楼变更事项:共同专利权人变更前:清华大学变更后:清华大学
2017-11-24	授权	授权

共 50 条

[1]

晶圆支撑装置 [P].

石帅 ;

吴刘兴 ;

程群 .

中国专利 :CN118471896A ,2024-08-09

[2]

晶圆支撑装置 [P].

陈明 ;

许亮亮 ;

谢光训 ;

胡万春 ;

张留杰 .

中国专利 :CN217485423U ,2022-09-23

[3]

晶圆支撑装置 [P].

倪进华 ;

米涛 ;

许鸿亮 .

中国专利 :CN223665443U ,2025-12-12

[4]

晶圆支撑装置 [P].

邱义君 ;

黄俊凯 ;

吕至诚 ;

陈春忠 ;

傅承祖 ;

蔡升富 .

中国专利 :CN109461691A ,2019-03-12

[5]

真空设备晶圆支撑装置 [P].

高飞翔 ;

董怀宝 ;

李世敏 .

中国专利 :CN214588800U ,2021-11-02

[6]

晶圆支撑结构、晶圆支撑装置及干燥机 [P].

陈梦彧 ;

曾柏章 .

中国专利 :CN115036256A ,2022-09-09

[7]

晶圆支撑装置 [P].

赵德文 ;

刘远航 ;

王江涛 ;

李长坤 .

中国专利 :CN211507602U ,2020-09-15

[8]

晶圆支撑装置 [P].

韩阳 ;

贾社娜 ;

陶晓峰 ;

何西登 ;

王晖 .

中国专利 :CN114649253A ,2022-06-21

[9]

晶圆支撑装置 [P].

吴均 ;

焦欣欣 ;

金一诺 ;

王坚 ;

王晖 .

中国专利 :CN105529296A ,2016-04-27

[10]

晶圆支撑装置 [P].

森川裕次 .

中国专利 :CN111433903A ,2020-07-17

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