晶圆支撑装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201880059084.2

申请日：

2018-08-30

公开(公告)号：

CN111433903A

公开(公告)日：

2020-07-17

发明(设计)人：

森川裕次

申请人：

申请人地址：

日本东京都港区赤坂5丁目2番20号

IPC主分类号：

H01L21683

IPC分类号：

H02N1300

代理机构：

北京海虹嘉诚知识产权代理有限公司 11129

代理人：

周晓娜;朱亚娜

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-10-20	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/683 申请日:20180830
2020-07-17	公开	公开
2023-01-13	著录事项变更	著录事项变更 IPC(主分类):H01L 21/683 变更事项:申请人变更前:迈图石英日本合同会社变更后:迈图科技日本股份有限公司变更事项:地址变更前:日本东京都港区赤坂5丁目2番20号变更后:日本东京新宿区西新宿6丁目12番1号

共 50 条

[1]

晶圆支撑装置 [P].

赵德文 ;

刘远航 ;

王江涛 ;

李长坤 .

中国专利 :CN211507602U ,2020-09-15

[2]

晶圆支撑装置 [P].

王国栋 ;

许振杰 ;

王同庆 ;

李昆 ;

路新春 .

中国专利 :CN206672910U ,2017-11-24

[3]

晶圆支撑装置 [P].

石帅 ;

吴刘兴 ;

程群 .

中国专利 :CN118471896A ,2024-08-09

[4]

晶圆支撑装置 [P].

韩阳 ;

贾社娜 ;

陶晓峰 ;

何西登 ;

王晖 .

中国专利 :CN114649253A ,2022-06-21

[5]

晶圆支撑装置 [P].

陈明 ;

许亮亮 ;

谢光训 ;

胡万春 ;

张留杰 .

中国专利 :CN217485423U ,2022-09-23

[6]

晶圆支撑装置 [P].

吴均 ;

焦欣欣 ;

金一诺 ;

王坚 ;

王晖 .

中国专利 :CN105529296A ,2016-04-27

[7]

晶圆支撑装置 [P].

倪进华 ;

米涛 ;

许鸿亮 .

中国专利 :CN223665443U ,2025-12-12

[8]

晶圆支撑装置 [P].

邱义君 ;

黄俊凯 ;

吕至诚 ;

陈春忠 ;

傅承祖 ;

蔡升富 .

中国专利 :CN109461691A ,2019-03-12

[9]

晶圆支撑系统，晶圆支撑装置，包括晶圆和晶圆支撑装置的系统以及掩模对准器 [P].

天野泰明 ;

斯文·汉森 ;

伦纳特·施瓦特 .

中国专利 :CN109560033A ,2019-04-02

[10]

晶圆支撑装置及晶圆支撑装置的使用方法 [P].

谈太德 ;

董文惠 ;

张亚梅 ;

姜崴 .

中国专利 :CN114300408B ,2025-10-03

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