晶圆支撑装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201410513750.9

申请日：

2014-09-29

公开(公告)号：

CN105529296A

公开(公告)日：

2016-04-27

发明(设计)人：

吴均焦欣欣金一诺王坚王晖

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区中国上海张江高科技园区蔡伦路1690号第4幢

IPC主分类号：

H01L21687

IPC分类号：

代理机构：

上海专利商标事务所有限公司 31100

代理人：

施浩

法律状态：

公开

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-04-27	公开	公开
2018-04-17	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):H01L 21/687 申请公布日:20160427

共 50 条

[1]

晶圆支撑结构、晶圆支撑装置及干燥机 [P].

陈梦彧 ;

曾柏章 .

中国专利 :CN115036256A ,2022-09-09

[2]

晶圆支撑座、旋转支撑装置、清洗装置、晶圆旋转测速方法及晶圆清洗方法 [P].

刘晟桤 ;

路新春 ;

王科 ;

李长坤 .

中国专利 :CN119447019B ,2025-05-16

[3]

晶圆支撑座、旋转支撑装置、清洗装置、晶圆旋转测速方法及晶圆清洗方法 [P].

刘晟桤 ;

路新春 ;

王科 ;

李长坤 .

中国专利 :CN119447019A ,2025-02-14

[4]

晶圆支撑装置 [P].

赵德文 ;

刘远航 ;

王江涛 ;

李长坤 .

中国专利 :CN211507602U ,2020-09-15

[5]

晶圆支撑装置 [P].

王国栋 ;

许振杰 ;

王同庆 ;

李昆 ;

路新春 .

中国专利 :CN206672910U ,2017-11-24

[6]

晶圆支撑装置 [P].

石帅 ;

吴刘兴 ;

程群 .

中国专利 :CN118471896A ,2024-08-09

[7]

晶圆支撑装置 [P].

韩阳 ;

贾社娜 ;

陶晓峰 ;

何西登 ;

王晖 .

中国专利 :CN114649253A ,2022-06-21

[8]

晶圆支撑装置 [P].

陈明 ;

许亮亮 ;

谢光训 ;

胡万春 ;

张留杰 .

中国专利 :CN217485423U ,2022-09-23

[9]

晶圆支撑装置 [P].

倪进华 ;

米涛 ;

许鸿亮 .

中国专利 :CN223665443U ,2025-12-12

[10]

晶圆支撑装置 [P].

邱义君 ;

黄俊凯 ;

吕至诚 ;

陈春忠 ;

傅承祖 ;

蔡升富 .

中国专利 :CN109461691A ,2019-03-12

← 1 2 3 4 5 →