真空设备晶圆支撑装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202120142869.5

申请日：

2021-01-19

公开(公告)号：

CN214588800U

公开(公告)日：

2021-11-02

发明(设计)人：

高飞翔董怀宝李世敏

申请人：

申请人地址：

200444 上海市宝山区山连路799号1幢1层-3层

IPC主分类号：

H01L21687

IPC分类号：

H01L2167

代理机构：

上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31275

代理人：

陶金龙;吴世华

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-11-02	授权	授权

共 50 条

[1]

新型真空设备晶圆支撑装置 [P].

张虎 .

中国专利 :CN216450615U ,2022-05-06

[2]

超高真空设备晶圆载盘 [P].

陈意桥 ;

王致凯 ;

张国祯 .

中国专利 :CN215418123U ,2022-01-04

[3]

真空设备 [P].

张建文 .

中国专利 :CN217922281U ,2022-11-29

[4]

晶圆支撑装置 [P].

王国栋 ;

许振杰 ;

王同庆 ;

李昆 ;

路新春 .

中国专利 :CN206672910U ,2017-11-24

[5]

晶圆支撑装置 [P].

陈明 ;

许亮亮 ;

谢光训 ;

胡万春 ;

张留杰 .

中国专利 :CN217485423U ,2022-09-23

[6]

真空设备和抽真空装置 [P].

刘若鹏 ;

赵治亚 ;

徐志财 ;

刘志林 .

中国专利 :CN216198779U ,2022-04-05

[7]

真空设备的基座定位支撑装置 [P].

杜陈忠 ;

梁沐旺 ;

吴庆辉 ;

江铭通 .

中国专利 :CN101591771B ,2009-12-02

[8]

真空设备结构 [P].

黄庆宗 .

中国专利 :CN202319209U ,2012-07-11

[9]

真空设备的联接装置 [P].

国为民 ;

陈生大 .

中国专利 :CN2380296Y ,2000-05-31

[10]

用于真空设备的支撑结构 [P].

王宏宇 ;

郭东民 ;

黄晓霞 ;

张国栋 ;

佟辉 ;

吕琪 ;

王尧 .

中国专利 :CN201884889U ,2011-06-29

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