新型真空设备晶圆支撑装置

被引：0

申请号：

CN202123333404.7

申请日：

2021-12-28

公开(公告)号：

CN216450615U

公开(公告)日：

2022-05-06

发明(设计)人：

张虎

申请人：

申请人地址：

214000 江苏省无锡市梁溪区会北路26-18

IPC主分类号：

H01L21683

IPC分类号：

H01L2168

代理机构：

无锡科嘉知信专利代理事务所(普通合伙) 32515

代理人：

顾翰林

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-05-06	授权	授权

共 50 条

[1]

真空设备晶圆支撑装置 [P].

高飞翔 ;

董怀宝 ;

李世敏 .

中国专利 :CN214588800U ,2021-11-02

[2]

超高真空设备晶圆载盘 [P].

陈意桥 ;

王致凯 ;

张国祯 .

中国专利 :CN215418123U ,2022-01-04

[3]

真空设备的基座定位支撑装置 [P].

杜陈忠 ;

梁沐旺 ;

吴庆辉 ;

江铭通 .

中国专利 :CN101591771B ,2009-12-02

[4]

用于真空设备的支撑结构 [P].

王宏宇 ;

郭东民 ;

黄晓霞 ;

张国栋 ;

佟辉 ;

吕琪 ;

王尧 .

中国专利 :CN201884889U ,2011-06-29

[5]

真空设备 [P].

陈祥麟 .

中国专利 :CN204186263U ,2015-03-04

[6]

真空设备 [P].

杨胜柏 ;

曹志国 .

中国专利 :CN209666235U ,2019-11-22

[7]

真空设备 [P].

张珅骏 ;

朱晓庆 .

中国专利 :CN205443430U ,2016-08-10

[8]

真空设备 [P].

张建文 .

中国专利 :CN217922281U ,2022-11-29

[9]

晶圆支撑装置 [P].

王国栋 ;

许振杰 ;

王同庆 ;

李昆 ;

路新春 .

中国专利 :CN206672910U ,2017-11-24

[10]

晶圆支撑装置 [P].

陈明 ;

许亮亮 ;

谢光训 ;

胡万春 ;

张留杰 .

中国专利 :CN217485423U ,2022-09-23

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