真空设备的基座定位支撑装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200810109809.2

申请日：

2008-05-30

公开(公告)号：

CN101591771B

公开(公告)日：

2009-12-02

发明(设计)人：

杜陈忠梁沐旺吴庆辉江铭通

申请人：

申请人地址：

中国台湾新竹县

IPC主分类号：

C23C1450

IPC分类号：

C23C1644

代理机构：

北京戈程知识产权代理有限公司 11314

代理人：

程伟;张硕

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2011-03-16	授权	授权
2010-01-27	实质审查的生效	实质审查的生效
2009-12-02	公开	公开

共 50 条

[1]

真空设备晶圆支撑装置 [P].

高飞翔 ;

董怀宝 ;

李世敏 .

中国专利 :CN214588800U ,2021-11-02

[2]

新型真空设备晶圆支撑装置 [P].

张虎 .

中国专利 :CN216450615U ,2022-05-06

[3]

用于真空设备的支撑结构 [P].

王宏宇 ;

郭东民 ;

黄晓霞 ;

张国栋 ;

佟辉 ;

吕琪 ;

王尧 .

中国专利 :CN201884889U ,2011-06-29

[4]

真空设备盖板、真空设备本体和真空设备 [P].

蔡广云 ;

李允求 ;

冯卫东 ;

江顺 ;

陈禹 ;

顾为飞 ;

许盼 .

中国专利 :CN114396475B ,2022-10-04

[5]

新型微波真空设备的托盘定位装置 [P].

梅怀帅 ;

周帅华 ;

张西茂 .

中国专利 :CN203612528U ,2014-05-28

[6]

一种用于真空设备的基座加热装置 [P].

孙仁君 ;

刘彦斌 ;

刘传生 ;

谭晓华 .

中国专利 :CN206441705U ,2017-08-25

[7]

真空设备、真空设备部件和用于运行真空设备的方法 [P].

R·库南兹 ;

S·奥尔霍恩 .

德国专利 :CN118308703A ,2024-07-09

[8]

真空设备的动密封装置及真空设备 [P].

腾安芝 ;

金龙钊 .

中国专利 :CN112081922A ,2020-12-15

[9]

真空设备的动密封装置及真空设备 [P].

张保全 ;

李爽 ;

赖丽娟 ;

尹显椿 ;

朱岳刚 ;

邱雄胜 ;

刘知新 ;

牛雷闪 .

中国专利 :CN209026167U ,2019-06-25

[10]

真空设备的动密封装置及真空设备 [P].

张保全 ;

李爽 ;

赖丽娟 ;

尹显椿 ;

朱岳刚 ;

邱雄胜 ;

刘知新 ;

牛雷闪 .

中国专利 :CN109058438A ,2018-12-21

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