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基板支撑基座
被引:0
专利类型
:
外观设计
申请号
:
CN202030046321.1
申请日
:
2020-02-03
公开(公告)号
:
CN306168569S
公开(公告)日
:
2020-11-13
发明(设计)人
:
C·H·李
迈克尔·D·威尔沃斯
杰弗里·路德维希
申请人
:
申请人地址
:
美国加利福尼亚州
IPC主分类号
:
1406
IPC分类号
:
代理机构
:
上海专利商标事务所有限公司 31100
代理人
:
闻卿
法律状态
:
授权
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2020-11-13
授权
授权
共 50 条
[1]
基板支撑基座
[P].
C·H·李
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0
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C·H·李
;
迈克尔·D·威尔沃斯
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迈克尔·D·威尔沃斯
;
杰弗里·路德维希
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杰弗里·路德维希
.
中国专利
:CN306168609S
,2020-11-13
[2]
基板支撑基座
[P].
S·J·拉罗萨
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S·J·拉罗萨
;
S·普劳蒂
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S·普劳蒂
.
中国专利
:CN110556316A
,2019-12-10
[3]
基板支撑基座
[P].
S·J·拉罗萨
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机构:
应用材料公司
应用材料公司
S·J·拉罗萨
;
S·普劳蒂
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机构:
应用材料公司
应用材料公司
S·普劳蒂
.
美国专利
:CN118412317A
,2024-07-30
[4]
基板支撑基座
[P].
S·J·拉罗萨
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机构:
应用材料公司
应用材料公司
S·J·拉罗萨
;
S·普劳蒂
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机构:
应用材料公司
应用材料公司
S·普劳蒂
.
美国专利
:CN110556316B
,2024-05-14
[5]
用于半导体基板支撑装置的基座
[P].
李承桓
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李承桓
;
权学龙
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权学龙
;
金钟随
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金钟随
;
金成培
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金成培
;
朴柱赫
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朴柱赫
.
中国专利
:CN305434211S
,2019-11-12
[6]
器件支撑基座
[P].
吴寒峰
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吴寒峰
;
王晓岸
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王晓岸
;
戴志锋
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戴志锋
.
中国专利
:CN306240652S
,2020-12-22
[7]
冷却机构支撑基座
[P].
游利
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0
游利
.
中国专利
:CN303042444S
,2014-12-17
[8]
支撑基座
[P].
后藤祯祐
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0
后藤祯祐
.
中国专利
:CN3505863D
,2006-02-15
[9]
支撑基座
[P].
朱塞佩·德隆吉
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朱塞佩·德隆吉
;
安东尼奥·洛伦宗
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安东尼奥·洛伦宗
;
亚历山德罗·安托纳尔
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亚历山德罗·安托纳尔
;
马蒂亚·斯卡托林
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马蒂亚·斯卡托林
.
中国专利
:CN110892107A
,2020-03-17
[10]
自调节平衡支撑基座
[P].
邓武剑
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邓武剑
;
肖裕鑫
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肖裕鑫
;
张开亮
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张开亮
;
杨欣伟
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杨欣伟
.
中国专利
:CN303177095S
,2015-04-22
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