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基板支撑基座
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201910484041.5
申请日：
2019-06-04
公开(公告)号：
CN110556316B
公开(公告)日：
2024-05-14
发明(设计)人：
S·J·拉罗萨
S·普劳蒂
申请人：
应用材料公司
申请人地址：
美国加利福尼亚州
IPC主分类号：
H01L21/67
IPC分类号：
H01L21/683
代理机构：
上海专利商标事务所有限公司 31100
代理人：
侯颖媖;张鑫
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-05-14 | 授权 | 授权 |