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基板支撑基座
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202410511620.5
申请日：
2019-06-04
公开(公告)号：
CN118412317A
公开(公告)日：
2024-07-30
发明(设计)人：
S·J·拉罗萨
S·普劳蒂
申请人：
应用材料公司
申请人地址：
美国加利福尼亚州
IPC主分类号：
H01L21/683
IPC分类号：
H01L21/67
代理机构：
上海专利商标事务所有限公司 31100
代理人：
储思哲;侯颖媖
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-08-16 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/683申请日:20190604 |
| 2024-07-30 | 公开 | 公开 |