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用于半导体基板支撑装置的基座
被引:0
专利类型
:
外观设计
申请号
:
CN201930078726.0
申请日
:
2019-02-27
公开(公告)号
:
CN305434211S
公开(公告)日
:
2019-11-12
发明(设计)人
:
李承桓
权学龙
金钟随
金成培
朴柱赫
申请人
:
申请人地址
:
荷兰阿尔梅勒佛斯特卡尔斯瑞特8,AP1322
IPC主分类号
:
1499
IPC分类号
:
代理机构
:
北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205
代理人
:
马爽;臧建明
法律状态
:
授权
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2019-11-12
授权
授权
共 50 条
[1]
用于支撑基板的支撑装置、处理基板的方法及半导体基板
[P].
D·安德瑞欧拉
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D·安德瑞欧拉
;
G·切莱雷
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G·切莱雷
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A·费基奥
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A·费基奥
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V·弗林
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V·弗林
;
E·帕斯夸莱托
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E·帕斯夸莱托
;
A·赞彻丁
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A·赞彻丁
;
M·加利亚佐
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M·加利亚佐
.
中国专利
:CN115039212A
,2022-09-09
[2]
用于支撑基板的支撑装置、处理基板的方法及半导体基板
[P].
D·安德瑞欧拉
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应用材料意大利有限公司
应用材料意大利有限公司
D·安德瑞欧拉
;
G·切莱雷
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应用材料意大利有限公司
应用材料意大利有限公司
G·切莱雷
;
A·费基奥
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应用材料意大利有限公司
应用材料意大利有限公司
A·费基奥
;
V·弗林
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应用材料意大利有限公司
应用材料意大利有限公司
V·弗林
;
E·帕斯夸莱托
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应用材料意大利有限公司
应用材料意大利有限公司
E·帕斯夸莱托
;
A·赞彻丁
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应用材料意大利有限公司
应用材料意大利有限公司
A·赞彻丁
;
M·加利亚佐
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应用材料意大利有限公司
应用材料意大利有限公司
M·加利亚佐
.
:CN115039212B
,2025-04-18
[3]
半导体基板支撑件
[P].
D·本杰明森
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D·本杰明森
;
D·卢博米尔斯基
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D·卢博米尔斯基
.
中国专利
:CN114566458A
,2022-05-31
[4]
半导体基板的制造方法、半导体基板、及半导体基板的制造装置
[P].
荻原光彦
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株式会社菲尔尼克斯
株式会社菲尔尼克斯
荻原光彦
;
桥本明弘
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株式会社菲尔尼克斯
株式会社菲尔尼克斯
桥本明弘
.
日本专利
:CN118435320A
,2024-08-02
[5]
半导体基板的制造方法、半导体基板及半导体装置
[P].
大槻刚
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信越半导体株式会社
信越半导体株式会社
大槻刚
;
松原寿树
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信越半导体株式会社
信越半导体株式会社
松原寿树
;
铃木温
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信越半导体株式会社
信越半导体株式会社
铃木温
;
阿部达夫
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信越半导体株式会社
信越半导体株式会社
阿部达夫
;
佐藤三千登
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信越半导体株式会社
信越半导体株式会社
佐藤三千登
.
日本专利
:CN120917541A
,2025-11-07
[6]
半导体基板、半导体装置以及半导体基板的制造方法
[P].
高田朋幸
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高田朋幸
;
山中贞则
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山中贞则
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岛田雅夫
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岛田雅夫
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秦雅彦
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秦雅彦
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板谷太郎
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板谷太郎
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石井裕之
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石井裕之
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久米英司
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久米英司
.
中国专利
:CN103403883B
,2013-11-20
[7]
半导体基板、半导体装置、以及半导体基板的制造方法
[P].
岩见正之
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岩见正之
;
古川拓也
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古川拓也
.
中国专利
:CN103262214A
,2013-08-21
[8]
半导体基板的制造方法、半导体基板及半导体装置
[P].
大槻刚
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信越半导体株式会社
信越半导体株式会社
大槻刚
;
松原寿树
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信越半导体株式会社
信越半导体株式会社
松原寿树
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铃木温
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信越半导体株式会社
信越半导体株式会社
铃木温
;
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信越半导体株式会社
信越半导体株式会社
阿部达夫
;
佐藤三千登
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机构:
信越半导体株式会社
信越半导体株式会社
佐藤三千登
.
日本专利
:CN120787371A
,2025-10-14
[9]
半导体基板、半导体基板的制造方法及半导体装置
[P].
杉山正和
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杉山正和
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霜垣幸浩
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霜垣幸浩
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秦雅彦
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秦雅彦
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市川磨
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市川磨
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中国专利
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,2011-02-16
[10]
半导体基板
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西口太郎
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西口太郎
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佐佐木信
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佐佐木信
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原田真
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原田真
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藤原伸介
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藤原伸介
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并川靖生
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并川靖生
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中国专利
:CN301633739S
,2011-08-03
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