一种用于碳化硅芯片生产的测试装置

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专利类型
实用新型
申请号
CN202322383042.5
申请日
2023-09-04
公开(公告)号
CN220872614U
公开(公告)日
2024-04-30
发明(设计)人
朱燕
申请人
圣艾克半导体(苏州)有限公司
申请人地址
215000 江苏省苏州市吴江区江陵街道长安路2358号吴江科技创业园综合楼131室
IPC主分类号
G01R31/28
IPC分类号
G01R1/04
代理机构
苏州维进专利代理事务所(普通合伙) 32507
代理人
程东辉
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
一种适用于碳化硅芯片生产的测试装置 [P]. 
田李庄 .
中国专利 :CN213316293U ,2021-06-01
[2]
一种用于检测碳化硅模块性能的测试装置 [P]. 
苗慎 ;
叶剑琨 ;
孙玉 ;
朱建华 .
中国专利 :CN223022256U ,2025-06-24
[3]
一种用于碳化硅电热元件的电阻测试装置 [P]. 
韩朝军 ;
焦书锋 ;
韩少军 ;
吴会峰 .
中国专利 :CN212780995U ,2021-03-23
[4]
一种碳化硅开关件测试装置 [P]. 
孟岩 ;
王凡 ;
李锐 .
中国专利 :CN221595188U ,2024-08-23
[5]
一种用于碳化硅芯片的耐高温测试装置及其测试方法 [P]. 
张振中 ;
孙军 ;
郝建勇 .
中国专利 :CN115542115A ,2022-12-30
[6]
一种碳化硅生产用碳化硅块破碎装置 [P]. 
张成荣 ;
刘江华 ;
刘冠华 ;
王义庆 .
中国专利 :CN211612867U ,2020-10-02
[7]
一种碳化硅电热元件电阻测试装置 [P]. 
吴涛勤 ;
吴一凯 ;
李浩钰 .
中国专利 :CN210323196U ,2020-04-14
[8]
一种碳化硅开关器件测试装置 [P]. 
陈俊 ;
陆熙 .
中国专利 :CN114200299A ,2022-03-18
[9]
一种碳化硅开关器件测试装置 [P]. 
陈俊 ;
陆熙 .
中国专利 :CN115047332A ,2022-09-13
[10]
一种碳化硅开关器件测试装置 [P]. 
陈俊 ;
陆熙 .
中国专利 :CN217879539U ,2022-11-22