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一种硅片转运装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202311721526.4
申请日：
2023-12-14
公开(公告)号：
CN117476522A
公开(公告)日：
2024-01-30
发明(设计)人：
周传国
杜伟
王先亮
马骏
申请人：
盐城厚泽锦业技术有限公司
申请人地址：
224700 江苏省盐城市建湖县高新区5D智造谷1号厂房
IPC主分类号：
H01L21/677
IPC分类号：
H01L21/673
H01L31/18
H01L21/687
代理机构：
青岛联智专利商标事务所有限公司 37101
代理人：
孙爱乔
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-02-20 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/677申请日:20231214 |
| 2025-06-27 | 授权 | 授权 |
| 2024-01-30 | 公开 | 公开 |