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一种铌酸锂氮化硅集成波导结构及其制作方法

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202211340049.2
申请日：
2022-10-28
公开(公告)号：
CN117991449A
公开(公告)日：
2024-05-07
发明(设计)人：
喻千尘 梁雪瑞
申请人：
武汉光迅科技股份有限公司 湖北光谷实验室
申请人地址：
430074 湖北省武汉市东湖新技术开发区流苏南路1号（自贸区武汉片区）
IPC主分类号：
G02B6/125
IPC分类号：
G02B6/13 G02B6/136 G02B6/28 G01C19/72
代理机构：
深圳市爱迪森知识产权代理事务所(普通合伙) 44341
代理人：
何婷
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
河北省 石家庄市
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2024-05-24 实质审查的生效 实质审查的生效IPC(主分类):G02B 6/125申请日:20221028
2024-05-07 公开 公开
共 50 条
[1]
一种与氮化硅异质集成的铌酸锂薄膜相位调制器 [P]. 
李慧 ;
廖升 ;
王飞 ;
赵蕊 ;
温琛 ;
樊榕 ;
冯丽爽 .
中国专利 :CN116009294B ,2025-08-15
[2]
氮化硅‑铌酸锂异质集成波导器件结构及制备方法 [P]. 
冯吉军 ;
翟珊 ;
顾昌林 ;
霍雨 ;
曾和平 .
中国专利 :CN107843957A ,2018-03-27
[3]
一种铌酸锂/氮化硅光波导集成结构及其制备方法 [P]. 
李真宇 ;
张秀全 ;
张涛 ;
李洋洋 .
中国专利 :CN109613647B ,2019-04-12
[4]
一种铌酸锂氮化硅集成器件及其制备方法 [P]. 
付孔霜 ;
张心雨 ;
安晓维 .
中国专利 :CN121209004A ,2025-12-26
[5]
一种高集成度铌酸锂/氮化硅光波导集成结构及其制备方法 [P]. 
李真宇 ;
张秀全 ;
张涛 ;
李洋洋 .
中国专利 :CN110703382B ,2020-01-17
[6]
一种铌酸锂-氮化硅异质集成电光调制器及其制备方法 [P]. 
刘敬伟 ;
李超 ;
李春龙 ;
周良 ;
蔡丰任 ;
张彦乐 ;
花晓强 .
中国专利 :CN119828365A ,2025-04-15
[7]
一种铌酸锂-氮化硅异质集成电光调制器及其制备方法 [P]. 
刘敬伟 ;
李超 ;
李春龙 ;
周良 ;
蔡丰任 ;
张彦乐 ;
花晓强 .
中国专利 :CN119828365B ,2025-09-30
[8]
基于氮化硅辅助的铌酸锂薄膜波导的全集成光学收发系统 [P]. 
田永辉 ;
韩旭 ;
蒋永恒 ;
肖恢芙 ;
张朴 ;
谭建宗 .
中国专利 :CN111880267A ,2020-11-03
[9]
一种基于铌酸锂波导的电光开关及其制作方法 [P]. 
卢惠辉 ;
陈哲 ;
张欣悦 ;
尚菊梅 ;
董江莉 ;
关贺元 ;
李克 ;
刘丽玲 ;
丘文涛 .
中国专利 :CN112014983A ,2020-12-01
[10]
一种基于铌酸锂波导的电光开关及其制作方法 [P]. 
卢惠辉 ;
陈哲 ;
张欣悦 ;
尚菊梅 ;
董江莉 ;
关贺元 ;
李克 ;
刘丽玲 ;
丘文涛 .
中国专利 :CN112014983B ,2024-03-26
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