等离子体处理装置和等离子体生成方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202111079857.3

申请日：

2021-09-15

公开(公告)号：

CN114256049B

公开(公告)日：

2024-04-16

发明(设计)人：

齐藤均町山弥佐佐木和男

申请人：

东京毅力科创株式会社

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

H01J37/32

IPC分类号：

代理机构：

北京尚诚知识产权代理有限公司 11322

代理人：

龙淳;池兵

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-04-16	授权	授权

共 50 条

[1]

等离子体处理装置和等离子体生成方法 [P].

齐藤均 ;

町山弥 ;

佐佐木和男 .

中国专利 :CN114256049A ,2022-03-29

[2]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

西野雅 ;

真壁正嗣 ;

长山将之 ;

半田达也 ;

绿川良太郎 ;

小林启悟 ;

仁矢铁也 .

中国专利 :CN103959447A ,2014-07-30

[3]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

齐藤均 ;

佐佐木和男 ;

植松治志 .

日本专利 :CN116110770B ,2025-06-13

[4]

等离子体处理装置和等离子体分布调整方法 [P].

佐佐木和男 ;

齐藤均 ;

山泽阳平 ;

古屋敦城 ;

内藤启 .

中国专利 :CN104282520B ,2015-01-14

[5]

等离子体处理装置和等离子体分布调整方法 [P].

佐佐木和男 ;

齐藤均 ;

山泽阳平 ;

古屋敦城 ;

内藤启 .

中国专利 :CN108203816B ,2018-06-26

[6]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

池田太郎 .

中国专利 :CN1554114A ,2004-12-08

[7]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

舆水地盐 ;

山泽阳平 .

中国专利 :CN102522304A ,2012-06-27

[8]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

里吉务 ;

佐藤亮 ;

佐佐木和男 ;

齐藤均 .

中国专利 :CN100543944C ,2005-11-09

[9]

等离子体处理方法和等离子体处理装置 [P].

道菅隆 ;

久保田绅治 .

日本专利 :CN111048389B ,2024-09-20

[10]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

塚原利也 ;

山边周平 ;

谷地晃汰 ;

佐藤徹治 ;

内田阳平 ;

铃木步太 ;

田村洋典 ;

花冈秀敏 ;

佐佐木淳一 .

日本专利 :CN111261511B ,2024-06-18

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