压电薄膜制备设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202311652593.5

申请日：

2023-12-04

公开(公告)号：

CN117560984A

公开(公告)日：

2024-02-13

发明(设计)人：

刘子仪费跃葛斌王焕焕陈思奇蔡金东全雪范文轩

申请人：

常州元晶摩尔微电子有限公司

申请人地址：

213000 江苏省常州市天宁区北塘河东路17号

IPC主分类号：

H10N30/01

IPC分类号：

H10N30/045 H10N30/08

代理机构：

北京品源专利代理有限公司 11332

代理人：

刘臣刚

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-02-13	公开	公开
2024-03-01	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):H10N 30/01申请日:20231204

共 50 条

[1]

压电薄膜的制备方法、压电薄膜 [P].

向远方 .

中国专利 :CN119343041A ,2025-01-21

[2]

压电薄膜元件以及压电薄膜设备 [P].

柴田宪治 ;

末永和史 ;

野本明 ;

渡边和俊 .

中国专利 :CN102157678A ,2011-08-17

[3]

压电薄膜元件及压电薄膜设备 [P].

末永和史 ;

柴田宪治 ;

渡边和俊 ;

野本明 .

中国专利 :CN102754232B ,2012-10-24

[4]

压电薄膜及其制备方法、压电薄膜传感器及穿戴设备 [P].

于国华 ;

钭忠尚 .

中国专利 :CN113394335A ,2021-09-14

[5]

压电薄膜报警设备 [P].

王卓 ;

陈锋 ;

刘军锋 .

中国专利 :CN202871002U ,2013-04-10

[6]

压电薄膜测试设备 [P].

黄锦钊 ;

章哲宇 ;

牛洋洋 .

中国专利 :CN210741746U ,2020-06-12

[7]

压电薄膜元件及具备其的压电薄膜设备 [P].

末永和史 ;

柴田宪治 ;

佐藤秀树 ;

野本明 .

中国专利 :CN101924179B ,2010-12-22

[8]

压电薄膜元件及其制造方法、以及压电薄膜设备 [P].

柴田宪治 ;

佐藤秀树 ;

末永和史 ;

野本明 .

中国专利 :CN101950790A ,2011-01-19

[9]

压电薄膜及其制备方法和压电薄膜传感器 [P].

丁欢 ;

李韦坤 ;

马梦竹 .

中国专利 :CN110752286A ,2020-02-04

[10]

压电薄膜、压电薄膜元件及压电换能器 [P].

森下纯平 ;

佐藤祐介 .

日本专利 :CN119451541A ,2025-02-14

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