一种静电卡盘吸附力测量装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202322504206.5

申请日：

2023-09-09

公开(公告)号：

CN220819276U

公开(公告)日：

2024-04-19

发明(设计)人：

裘祝恒李君石锗元肖伟

申请人：

君原电子科技（海宁）有限公司北方集成电路技术创新中心（北京）有限公司

申请人地址：

314400 浙江省嘉兴市海宁市海宁经济开发区谷水路306号天通泛半导体产业园2幢

IPC主分类号：

G01L5/00

IPC分类号：

H01L21/683

代理机构：

代理人：

法律状态：

授权

国省代码：

安徽省宣城市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-04-19	授权	授权

共 50 条

[1]

静电卡盘静电吸附力的测量装置 [P].

徐登峰 ;

许岩 ;

唐娜娜 ;

张旭光 ;

朱煜 ;

穆海华 ;

程嘉 ;

王珂晟 .

中国专利 :CN104062040A ,2014-09-24

[2]

一种静电卡盘静电吸附力测量装置 [P].

石锗元 ;

陈茂雄 ;

李君 ;

肖伟 .

中国专利 :CN115165183B ,2025-05-09

[3]

一种静电卡盘静电吸附力及脱附时间的测量装置 [P].

徐登峰 ;

程嘉 ;

许岩 ;

王兴阔 ;

张旭光 ;

王珂晟 ;

成荣 ;

刘涛 .

中国专利 :CN103698070A ,2014-04-02

[4]

一种静电卡盘的吸附力测试系统 [P].

陈赟 ;

张立祥 .

中国专利 :CN221198753U ,2024-06-21

[5]

一种静电吸附力测量装置和方法 [P].

费珂 ;

王良 .

中国专利 :CN117367641A ,2024-01-09

[6]

一种永磁铁间隙吸附力测量装置 [P].

孙振国 ;

邹威 ;

赵志刚 ;

董笑丽 ;

王宇翔 ;

杨东宇 ;

张悦悦 ;

陈咏华 ;

吴景然 ;

李凯 ;

丁雨林 ;

冯作全 ;

刘晨荣 ;

张康宁 ;

李侃 ;

冷化荣 ;

杜金涛 ;

李世甲 .

中国专利 :CN207556720U ,2018-06-29

[7]

一种静电吸盘的静电吸附力的测量装置及测量方法 [P].

隋天一 ;

柯燎亮 ;

张源 ;

杜浩轩 ;

张兴邦 .

中国专利 :CN121113330A ,2025-12-12

[8]

一种具有均匀吸附力的静电吸附装置 [P].

杨杰 .

中国专利 :CN211830618U ,2020-10-30

[9]

静电吸盘吸附力测试设备 [P].

马长森 ;

杨晨倩 .

中国专利 :CN223376813U ,2025-09-23

[10]

一种自调节吸附力的静电吸附系统 [P].

陈高龙 ;

蔡雪莲 .

中国专利 :CN211615628U ,2020-10-02

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