一种静电卡盘静电吸附力及脱附时间的测量装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310689053.4

申请日：

2013-12-17

公开(公告)号：

CN103698070A

公开(公告)日：

2014-04-02

发明(设计)人：

徐登峰程嘉许岩王兴阔张旭光王珂晟成荣刘涛

申请人：

申请人地址：

100084 北京市海淀区清华大学学研综合楼B902室

IPC主分类号：

G01L500

IPC分类号：

G01M1300

代理机构：

代理人：

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-04-02	公开	公开
2014-04-30	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101581908666 IPC(主分类):G01L 5/00 专利申请号:2013106890534 申请日:20131217
2017-02-08	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101746114264 IPC(主分类):G01L 5/00 专利申请号:2013106890534 申请公布日:20140402

共 50 条

[1]

静电卡盘静电吸附力的测量装置 [P].

徐登峰 ;

许岩 ;

唐娜娜 ;

张旭光 ;

朱煜 ;

穆海华 ;

程嘉 ;

王珂晟 .

中国专利 :CN104062040A ,2014-09-24

[2]

一种静电卡盘静电吸附力测量装置 [P].

石锗元 ;

陈茂雄 ;

李君 ;

肖伟 .

中国专利 :CN115165183B ,2025-05-09

[3]

一种静电卡盘吸附力测量装置 [P].

裘祝恒 ;

李君 ;

石锗元 ;

肖伟 .

中国专利 :CN220819276U ,2024-04-19

[4]

一种静电吸盘的静电吸附力的测量装置及测量方法 [P].

隋天一 ;

柯燎亮 ;

张源 ;

杜浩轩 ;

张兴邦 .

中国专利 :CN121113330A ,2025-12-12

[5]

测量残余静电吸附力的装置及方法 [P].

杨辰烨 .

中国专利 :CN119555478A ,2025-03-04

[6]

一种静电吸附力测量装置和方法 [P].

费珂 ;

王良 .

中国专利 :CN117367641A ,2024-01-09

[7]

一种静电卡盘的吸附力测试系统 [P].

陈赟 ;

张立祥 .

中国专利 :CN221198753U ,2024-06-21

[8]

静电卡盘装置及晶片静电吸附方法 [P].

蒋志超 ;

罗兴安 ;

胡淼龙 ;

张春雷 ;

王林 .

中国专利 :CN111540707A ,2020-08-14

[9]

一种动态静电吸附力的测量和表征平台及其应用方法 [P].

郭江龙 ;

张淑懿 ;

裴昱翔 ;

刘彦菊 ;

冷劲松 .

中国专利 :CN119043895A ,2024-11-29

[10]

一种静电吸附力测试平台 [P].

孙文杰 ;

吕延军 ;

张飞 ;

何敬礼 ;

梁瑞东 .

中国专利 :CN111207867A ,2020-05-29

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