测量残余静电吸附力的装置及方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202411623972.6

申请日：

2024-11-13

公开(公告)号：

CN119555478A

公开(公告)日：

2025-03-04

发明(设计)人：

杨辰烨

申请人：

拓荆科技（上海）有限公司

申请人地址：

201306 上海市浦东新区中国（上海）自由贸易试验区临港新片区鸿音路1211号10幢304室

IPC主分类号：

G01N3/02

IPC分类号：

H01L21/683 H01L21/687 G01N3/08 G01N3/22 G01N3/04 G01L1/00 G01L1/18 G01L1/16 G01L5/00

代理机构：

上海专利商标事务所有限公司 31100

代理人：

胡林岭

法律状态：

公开

国省代码：

上海市市辖区

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-03-04	公开	公开
2025-03-21	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):G01N 3/02申请日:20241113

共 50 条

[1]

静电卡盘静电吸附力的测量装置 [P].

徐登峰 ;

许岩 ;

唐娜娜 ;

张旭光 ;

朱煜 ;

穆海华 ;

程嘉 ;

王珂晟 .

中国专利 :CN104062040A ,2014-09-24

[2]

一种静电吸盘的静电吸附力的测量装置及测量方法 [P].

隋天一 ;

柯燎亮 ;

张源 ;

杜浩轩 ;

张兴邦 .

中国专利 :CN121113330A ,2025-12-12

[3]

一种静电卡盘静电吸附力测量装置 [P].

石锗元 ;

陈茂雄 ;

李君 ;

肖伟 .

中国专利 :CN115165183B ,2025-05-09

[4]

一种静电卡盘静电吸附力及脱附时间的测量装置 [P].

徐登峰 ;

程嘉 ;

许岩 ;

王兴阔 ;

张旭光 ;

王珂晟 ;

成荣 ;

刘涛 .

中国专利 :CN103698070A ,2014-04-02

[5]

一种静电吸附力测量装置和方法 [P].

费珂 ;

王良 .

中国专利 :CN117367641A ,2024-01-09

[6]

晶圆吸附力的测量系统及方法、晶圆托盘及其制备方法 [P].

杨辰烨 ;

谈太德 .

中国专利 :CN115389083A ,2022-11-25

[7]

一种动态静电吸附力的测量和表征平台及其应用方法 [P].

郭江龙 ;

张淑懿 ;

裴昱翔 ;

刘彦菊 ;

冷劲松 .

中国专利 :CN119043895A ,2024-11-29

[8]

一种用于静电吸附盘吸附力检测的工具 [P].

赖学明 .

中国专利 :CN221147916U ,2024-06-14

[9]

一种用吸盘抓取面料的吸附力测量装置及测量方法 [P].

李新荣 ;

冯文倩 ;

刘汉邦 ;

刘立东 .

中国专利 :CN112179542A ,2021-01-05

[10]

用于处理腔室载具的静电吸附力测量工具 [P].

斯里尼瓦斯·D·内曼尼 ;

高塔姆·皮莎罗蒂 ;

塞沙德里·拉马斯瓦米 ;

尚布休·N·罗伊 ;

尼兰詹·库马尔 .

中国专利 :CN110036466A ,2019-07-19

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