用于处理腔室载具的静电吸附力测量工具

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201780072686.7

申请日：

2017-11-06

公开(公告)号：

CN110036466A

公开(公告)日：

2019-07-19

发明(设计)人：

斯里尼瓦斯·D·内曼尼高塔姆·皮莎罗蒂塞沙德里·拉马斯瓦米尚布休·N·罗伊尼兰詹·库马尔

申请人：

申请人地址：

美国加利福尼亚州

IPC主分类号：

H01L21683

IPC分类号：

H01L2167 H01L21687

代理机构：

北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006

代理人：

徐金国;赵静

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-07-19	公开	公开
2019-08-13	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/683 申请日:20171106

共 50 条

[1]

静电卡盘静电吸附力的测量装置 [P].

徐登峰 ;

许岩 ;

唐娜娜 ;

张旭光 ;

朱煜 ;

穆海华 ;

程嘉 ;

王珂晟 .

中国专利 :CN104062040A ,2014-09-24

[2]

一种静电吸附力测量装置和方法 [P].

费珂 ;

王良 .

中国专利 :CN117367641A ,2024-01-09

[3]

测量残余静电吸附力的装置及方法 [P].

杨辰烨 .

中国专利 :CN119555478A ,2025-03-04

[4]

一种静电卡盘静电吸附力测量装置 [P].

石锗元 ;

陈茂雄 ;

李君 ;

肖伟 .

中国专利 :CN115165183B ,2025-05-09

[5]

一种静电吸盘的静电吸附力的测量装置及测量方法 [P].

隋天一 ;

柯燎亮 ;

张源 ;

杜浩轩 ;

张兴邦 .

中国专利 :CN121113330A ,2025-12-12

[6]

一种静电卡盘静电吸附力及脱附时间的测量装置 [P].

徐登峰 ;

程嘉 ;

许岩 ;

王兴阔 ;

张旭光 ;

王珂晟 ;

成荣 ;

刘涛 .

中国专利 :CN103698070A ,2014-04-02

[7]

梳齿电极结构的静电吸盘吸附力计算方法 [P].

李鹏飞 ;

吕恬 ;

段连超 ;

梁文滨 ;

高世鹏 ;

马雪龙 ;

傅斌 .

中国专利 :CN119337597A ,2025-01-21

[8]

一种动态静电吸附力的测量和表征平台及其应用方法 [P].

郭江龙 ;

张淑懿 ;

裴昱翔 ;

刘彦菊 ;

冷劲松 .

中国专利 :CN119043895A ,2024-11-29

[9]

用于处理基板的工艺腔室和静电吸盘 [P].

J·西蒙斯 ;

D·洛弗尔 .

中国专利 :CN210296330U ,2020-04-10

[10]

一种面向服装面料的静电吸附力建模方法 [P].

李新荣 ;

刘汉邦 ;

刘立东 ;

冯文倩 .

中国专利 :CN112329088B ,2021-02-05

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