梳齿电极结构的静电吸盘吸附力计算方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202411367509.X

申请日：

2024-09-29

公开(公告)号：

CN119337597A

公开(公告)日：

2025-01-21

发明(设计)人：

李鹏飞吕恬段连超梁文滨高世鹏马雪龙傅斌

申请人：

西安理工大学

申请人地址：

710048 陕西省西安市碑林区金花南路5号

IPC主分类号：

G06F30/20

IPC分类号：

G06F111/04 G06F119/14

代理机构：

西安弘理专利事务所 61214

代理人：

弓长

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

陕西省西安市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-02-14	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):G06F 30/20申请日:20240929
2025-01-21	公开	公开

共 50 条

[1]

静电吸盘吸附力测试设备 [P].

马长森 ;

杨晨倩 .

中国专利 :CN223376813U ,2025-09-23

[2]

一种静电吸盘的静电吸附力的测量装置及测量方法 [P].

隋天一 ;

柯燎亮 ;

张源 ;

杜浩轩 ;

张兴邦 .

中国专利 :CN121113330A ,2025-12-12

[3]

静电卡盘静电吸附力的测量装置 [P].

徐登峰 ;

许岩 ;

唐娜娜 ;

张旭光 ;

朱煜 ;

穆海华 ;

程嘉 ;

王珂晟 .

中国专利 :CN104062040A ,2014-09-24

[4]

测量残余静电吸附力的装置及方法 [P].

杨辰烨 .

中国专利 :CN119555478A ,2025-03-04

[5]

一种静电吸附力测量装置和方法 [P].

费珂 ;

王良 .

中国专利 :CN117367641A ,2024-01-09

[6]

一种静电卡盘静电吸附力测量装置 [P].

石锗元 ;

陈茂雄 ;

李君 ;

肖伟 .

中国专利 :CN115165183B ,2025-05-09

[7]

一种静电吸附力测试平台 [P].

孙文杰 ;

吕延军 ;

张飞 ;

何敬礼 ;

梁瑞东 .

中国专利 :CN111207867A ,2020-05-29

[8]

用于处理腔室载具的静电吸附力测量工具 [P].

斯里尼瓦斯·D·内曼尼 ;

高塔姆·皮莎罗蒂 ;

塞沙德里·拉马斯瓦米 ;

尚布休·N·罗伊 ;

尼兰詹·库马尔 .

中国专利 :CN110036466A ,2019-07-19

[9]

一种半导体晶圆静电吸盘吸附力检测装置及检测方法 [P].

任璐璐 ;

任志强 ;

张虎 ;

季中伟 .

中国专利 :CN118424532B ,2024-10-29

[10]

一种半导体晶圆静电吸盘吸附力检测装置及检测方法 [P].

任璐璐 ;

任志强 ;

张虎 ;

季中伟 .

中国专利 :CN118424532A ,2024-08-02

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