一种动态静电吸附力的测量和表征平台及其应用方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202411176851.1

申请日：

2024-08-26

公开(公告)号：

CN119043895A

公开(公告)日：

2024-11-29

发明(设计)人：

郭江龙张淑懿裴昱翔刘彦菊冷劲松

申请人：

哈尔滨工业大学（深圳）（哈尔滨工业大学深圳科技创新研究院）

申请人地址：

518000 广东省深圳市南山区桃源街道深圳大学城哈尔滨工业大学校区

IPC主分类号：

G01N3/08

IPC分类号：

G01N3/02

代理机构：

广东普润知识产权代理有限公司 44804

代理人：

寇闯

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

山东省威海市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-12-17	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):G01N 3/08申请日:20240826
2024-11-29	公开	公开

共 50 条

[1]

一种静电吸附力测量装置和方法 [P].

费珂 ;

王良 .

中国专利 :CN117367641A ,2024-01-09

[2]

静电卡盘静电吸附力的测量装置 [P].

徐登峰 ;

许岩 ;

唐娜娜 ;

张旭光 ;

朱煜 ;

穆海华 ;

程嘉 ;

王珂晟 .

中国专利 :CN104062040A ,2014-09-24

[3]

一种静电吸盘的静电吸附力的测量装置及测量方法 [P].

隋天一 ;

柯燎亮 ;

张源 ;

杜浩轩 ;

张兴邦 .

中国专利 :CN121113330A ,2025-12-12

[4]

一种静电卡盘静电吸附力测量装置 [P].

石锗元 ;

陈茂雄 ;

李君 ;

肖伟 .

中国专利 :CN115165183B ,2025-05-09

[5]

测量残余静电吸附力的装置及方法 [P].

杨辰烨 .

中国专利 :CN119555478A ,2025-03-04

[6]

一种静电吸附力测试平台 [P].

孙文杰 ;

吕延军 ;

张飞 ;

何敬礼 ;

梁瑞东 .

中国专利 :CN111207867A ,2020-05-29

[7]

一种静电吸附力测试平台及其测力方法 [P].

陈锐 ;

张卓 ;

宋瑞洲 .

中国专利 :CN108981998B ,2018-12-11

[8]

一种静电卡盘静电吸附力及脱附时间的测量装置 [P].

徐登峰 ;

程嘉 ;

许岩 ;

王兴阔 ;

张旭光 ;

王珂晟 ;

成荣 ;

刘涛 .

中国专利 :CN103698070A ,2014-04-02

[9]

一种自调节吸附力的静电吸附系统 [P].

陈高龙 ;

蔡雪莲 .

中国专利 :CN211615628U ,2020-10-02

[10]

一种用于静电吸附盘吸附力检测的工具 [P].

赖学明 .

中国专利 :CN221147916U ,2024-06-14

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