真空镀膜系统及真空镀膜方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202210940330.3

申请日：

2022-08-05

公开(公告)号：

CN117551977A

公开(公告)日：

2024-02-13

发明(设计)人：

赵子铭李博研钟大龙赵明

申请人：

国家能源投资集团有限责任公司北京低碳清洁能源研究院

申请人地址：

100011 北京市东城区安定门西滨河路22号

IPC主分类号：

C23C14/56

IPC分类号：

C23C14/24 C23C14/54 C23C14/06

代理机构：

北京英创嘉友知识产权代理事务所(普通合伙) 11447

代理人：

温易娜

法律状态：

公开

国省代码：

北京市市辖区

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-02-13	公开	公开
2024-03-01	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C23C 14/56申请日:20220805

共 50 条

[1]

一种真空镀膜系统及真空镀膜方法 [P].

黄永长 ;

龙汝磊 ;

吴萍 .

中国专利 :CN117467965A ,2024-01-30

[2]

真空镀膜系统 [P].

王仲培 .

中国专利 :CN102373422A ,2012-03-14

[3]

真空镀膜方法及真空镀膜设备 [P].

黄永长 ;

朱振华 ;

龙汝磊 ;

吴萍 .

中国专利 :CN119194366A ,2024-12-27

[4]

真空镀膜设备及真空镀膜方法 [P].

陈惠君 ;

杨锐 ;

曹祯烨 ;

杜瀚翔 ;

朱昆 .

中国专利 :CN118272775B ,2024-09-13

[5]

真空镀膜设备及真空镀膜方法 [P].

黄永长 ;

朱振华 ;

龙汝磊 ;

吴萍 .

中国专利 :CN119194364A ,2024-12-27

[6]

真空镀膜设备及真空镀膜方法 [P].

陈惠君 ;

杨锐 ;

曹祯烨 ;

杜瀚翔 ;

朱昆 .

中国专利 :CN118272775A ,2024-07-02

[7]

真空镀膜设备及真空镀膜方法 [P].

陈益钢 ;

程竞经 .

中国专利 :CN111575652A ,2020-08-25

[8]

真空镀膜设备及真空镀膜方法 [P].

戴晓东 ;

余海春 ;

杨启忠 .

中国专利 :CN118621290A ,2024-09-10

[9]

真空镀膜系统 [P].

王志海 ;

邝斌 ;

陈金良 ;

齐鹏飞 ;

赖新暖 .

中国专利 :CN213977866U ,2021-08-17

[10]

真空镀膜系统 [P].

洪本善 ;

刘扬 ;

许元理 ;

唐成军 .

中国专利 :CN220619088U ,2024-03-19

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