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晶舟及炉管设备
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202321688372.9
申请日：
2023-06-29
公开(公告)号：
CN220509982U
公开(公告)日：
2024-02-20
发明(设计)人：
杨涛
田志辉
耿晨晨
焦圣杰
申请人：
芯恩（青岛）集成电路有限公司
申请人地址：
266000 山东省青岛市黄岛区红石崖街道山王河路1088号
IPC主分类号：
H01L21/673
IPC分类号：
H01L21/205
C23C16/458
代理机构：
上海思捷知识产权代理有限公司 31295
代理人：
刘畅
法律状态：
授权
国省代码：
山东省
青岛市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-02-20 | 授权 | 授权 |