晶舟基座及炉管装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201821270737.5

申请日：

2018-08-07

公开(公告)号：

CN208674076U

公开(公告)日：

2019-03-29

发明(设计)人：

陈城周冬成吴宗祐林宗贤

申请人：

申请人地址：

223300 江苏省淮安市淮阴区长江东路599号

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

H01L21687

代理机构：

上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) 31294

代理人：

孙佳胤;陈丽丽

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-03-29	授权	授权

共 50 条

[1]

晶舟及炉管装置 [P].

邢国兵 ;

方桂芹 ;

黄仁德 .

中国专利 :CN208315519U ,2019-01-01

[2]

晶舟及炉管设备 [P].

杨涛 ;

田志辉 ;

耿晨晨 ;

焦圣杰 .

中国专利 :CN220509982U ,2024-02-20

[3]

晶舟装置 [P].

蔚海波 ;

曹巍 ;

王杰 .

中国专利 :CN221708673U ,2024-09-13

[4]

晶舟和炉管 [P].

沈建飞 ;

任瑞龙 .

中国专利 :CN202259222U ,2012-05-30

[5]

晶舟和炉管 [P].

沈建飞 ;

任瑞龙 .

中国专利 :CN202142511U ,2012-02-08

[6]

晶舟以及炉管 [P].

谢峰 .

中国专利 :CN207503941U ,2018-06-15

[7]

晶舟 [P].

孟敏 ;

贺鑫 .

中国专利 :CN222119475U ,2024-12-06

[8]

晶舟清洗装置 [P].

王磊 ;

陈伯廷 ;

吴宗祐 ;

林宗贤 .

中国专利 :CN209981183U ,2020-01-21

[9]

晶圆基座及晶圆处理装置 [P].

王昕昀 ;

吴孝哲 ;

胡广严 ;

吴龙江 ;

林宗贤 .

中国专利 :CN208743270U ,2019-04-16

[10]

炉管用石英晶舟 [P].

陈秀龙 .

中国专利 :CN201845747U ,2011-05-25

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