一种PECVD干燥装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202323019310.1

申请日：

2023-11-08

公开(公告)号：

CN220918679U

公开(公告)日：

2024-05-10

发明(设计)人：

杨骥师海峰鲍少娟黄金冀杨洲杨文亮任法渊李莎高英杰杨泽奇潘国鑫张娟程风

申请人：

晋能清洁能源科技股份公司晋能光伏技术有限责任公司

申请人地址：

032100 山西省吕梁市文水县经济开发区1号

IPC主分类号：

B01D53/26

IPC分类号：

C23C16/50 C23C16/52

代理机构：

山西晋扬知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 14125

代理人：

张学元

法律状态：

授权

国省代码：

山西省阳泉市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-05-10	授权	授权

共 50 条

[1]

一种PECVD设备的异形管结构和PECVD设备 [P].

李广旭 ;

陈森 ;

刘德茂 ;

杨龙 ;

王晶 ;

张凯 .

中国专利 :CN222455216U ,2025-02-11

[2]

一种管式PECVD结构 [P].

谢明会 ;

赵洪俊 ;

平国庆 ;

何为晋 .

中国专利 :CN207512258U ,2018-06-19

[3]

一种PECVD设备的石墨电极结构和PECVD设备 [P].

杨龙 ;

陈森 ;

王晶 ;

刘德茂 ;

李广旭 ;

张凯 .

中国专利 :CN222313301U ,2025-01-07

[4]

一种防止PECVD炉管粉尘污染的装置 [P].

李永伟 ;

李继强 ;

刘祖利 ;

任良为 ;

马政 .

中国专利 :CN216337941U ,2022-04-19

[5]

一种PECVD装置 [P].

陈五奎 ;

李军 ;

徐文州 ;

陈磊 ;

冯加保 .

中国专利 :CN204211821U ,2015-03-18

[6]

一种防撞条干燥装置 [P].

黄家辉 .

中国专利 :CN208312967U ,2019-01-01

[7]

一种12管高产能PECVD设备 [P].

崔慧敏 ;

林罡 ;

王鹏 .

中国专利 :CN209537623U ,2019-10-25

[8]

一种雷达波导空气干燥装置 [P].

赵宇 ;

王晓彬 ;

王霄 ;

张璇 ;

胡楠 ;

杨莹 .

中国专利 :CN218421954U ,2023-02-03

[9]

一种锂电池干燥装置 [P].

吴鹏 .

中国专利 :CN207556113U ,2018-06-29

[10]

一种化纤加工用干燥装置 [P].

赵宏 ;

丁华虎 ;

徐波 .

中国专利 :CN208187037U ,2018-12-04

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