一种防止PECVD炉管粉尘污染的装置

被引：0

申请号：

CN202122890876.6

申请日：

2021-11-24

公开(公告)号：

CN216337941U

公开(公告)日：

2022-04-19

发明(设计)人：

李永伟李继强刘祖利任良为马政

申请人：

申请人地址：

322118 浙江省金华市东阳市横店镇工业区

IPC主分类号：

C23C1644

IPC分类号：

C23C1650

代理机构：

北京品源专利代理有限公司 11332

代理人：

季承

法律状态：

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国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-04-19	授权	授权

共 50 条

[1]

一种PECVD炉管粉尘清理装置 [P].

李永伟 ;

刘祖利 ;

王春来 ;

任良为 ;

马政 .

中国专利 :CN216262498U ,2022-04-12

[2]

一种PECVD炉管粉尘吹扫、回收装置 [P].

张煌军 ;

赵鹏 ;

杨川 ;

冉祖辉 ;

韩永清 ;

张志强 ;

史金超 ;

于波 .

中国专利 :CN221028670U ,2024-05-28

[3]

一种PECVD炉管粉尘复合吹扫装置 [P].

张煌军 ;

赵鹏 ;

杨川 ;

冉祖辉 ;

韩永清 ;

张志强 ;

于波 ;

史金超 .

中国专利 :CN221086625U ,2024-06-07

[4]

一种PECVD炉管碎片、粉尘收集设备 [P].

周福深 ;

姚帅 .

中国专利 :CN223352457U ,2025-09-19

[5]

一种PECVD主机台炉管清理装置 [P].

蔡兆勇 ;

岳成武 ;

杨灼坚 .

中国专利 :CN218404399U ,2023-01-31

[6]

一种PECVD干燥装置 [P].

杨骥 ;

师海峰 ;

鲍少娟 ;

黄金 ;

冀杨洲 ;

杨文亮 ;

任法渊 ;

李莎 ;

高英杰 ;

杨泽奇 ;

潘国鑫 ;

张娟 ;

程风 .

中国专利 :CN220918679U ,2024-05-10

[7]

一种管式PECVD结构 [P].

谢明会 ;

赵洪俊 ;

平国庆 ;

何为晋 .

中国专利 :CN207512258U ,2018-06-19

[8]

一种PECVD炉管碳化硅桨 [P].

马中红 ;

朱浩 ;

唐剑明 ;

王永亮 ;

张科 ;

段冰 ;

李瑞瑞 ;

王厚玉 .

中国专利 :CN221626382U ,2024-08-30

[9]

一种PECVD设备的异形管结构和PECVD设备 [P].

李广旭 ;

陈森 ;

刘德茂 ;

杨龙 ;

王晶 ;

张凯 .

中国专利 :CN222455216U ,2025-02-11

[10]

一种PECVD装置 [P].

陈五奎 ;

李军 ;

徐文州 ;

陈磊 ;

冯加保 .

中国专利 :CN204211821U ,2015-03-18

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