一种PECVD炉管粉尘复合吹扫装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202322575115.0

申请日：

2023-09-21

公开(公告)号：

CN221086625U

公开(公告)日：

2024-06-07

发明(设计)人：

张煌军赵鹏杨川冉祖辉韩永清张志强于波史金超

申请人：

英利能源发展（保定）有限公司英利能源发展有限公司

申请人地址：

072150 河北省保定市满城区建业路003号高技术服务产业园研究中心2层

IPC主分类号：

B08B9/049

IPC分类号：

代理机构：

河北国维致远知识产权代理有限公司 13137

代理人：

马卫青

法律状态：

授权

国省代码：

河北省保定市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-06-07	授权	授权

共 50 条

[1]

一种PECVD炉管粉尘吹扫、回收装置 [P].

张煌军 ;

赵鹏 ;

杨川 ;

冉祖辉 ;

韩永清 ;

张志强 ;

史金超 ;

于波 .

中国专利 :CN221028670U ,2024-05-28

[2]

一种PECVD炉管粉尘清理装置 [P].

李永伟 ;

刘祖利 ;

王春来 ;

任良为 ;

马政 .

中国专利 :CN216262498U ,2022-04-12

[3]

一种炉管检漏吹扫装置 [P].

陶金虎 ;

李娇 .

中国专利 :CN204389123U ,2015-06-10

[4]

一种PECVD炉管多功用清洁装置 [P].

张煌军 ;

赵鹏 ;

冉祖辉 ;

韩永清 ;

张志强 ;

史金超 ;

于波 .

中国专利 :CN220804857U ,2024-04-19

[5]

一种瓶底粉尘吹扫装置 [P].

曹龙宾 .

中国专利 :CN211191309U ,2020-08-07

[6]

一种制氮机吹扫装置 [P].

谢贵琴 ;

周飞 ;

杨非 ;

李光飞 .

中国专利 :CN215430375U ,2022-01-07

[7]

一种管道吹扫装置 [P].

沈浩乐 ;

袁红卫 .

中国专利 :CN206838685U ,2018-01-05

[8]

一种粉尘仪镜头吹扫装置 [P].

张玮 ;

郭锐 .

中国专利 :CN206868781U ,2018-01-12

[9]

一种防止PECVD炉管粉尘污染的装置 [P].

李永伟 ;

李继强 ;

刘祖利 ;

任良为 ;

马政 .

中国专利 :CN216337941U ,2022-04-19

[10]

一种PECVD炉管碎片、粉尘收集设备 [P].

周福深 ;

姚帅 .

中国专利 :CN223352457U ,2025-09-19

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