一种PECVD炉管粉尘吹扫、回收装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202322571989.9

申请日：

2023-09-21

公开(公告)号：

CN221028670U

公开(公告)日：

2024-05-28

发明(设计)人：

张煌军赵鹏杨川冉祖辉韩永清张志强史金超于波

申请人：

英利能源发展（保定）有限公司英利能源发展有限公司

申请人地址：

072150 河北省保定市满城区建业路003号高技术服务产业园研究中心2层

IPC主分类号：

C23C16/50

IPC分类号：

C23C16/44

代理机构：

河北国维致远知识产权代理有限公司 13137

代理人：

马卫青

法律状态：

授权

国省代码：

河北省保定市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-05-28	授权	授权

共 50 条

[1]

一种PECVD炉管粉尘复合吹扫装置 [P].

张煌军 ;

赵鹏 ;

杨川 ;

冉祖辉 ;

韩永清 ;

张志强 ;

于波 ;

史金超 .

中国专利 :CN221086625U ,2024-06-07

[2]

一种粉尘吹扫回收装置 [P].

宋洪洲 ;

陈彦宏 ;

章拥军 .

中国专利 :CN223530989U ,2025-11-11

[3]

一种PECVD炉管粉尘清理装置 [P].

李永伟 ;

刘祖利 ;

王春来 ;

任良为 ;

马政 .

中国专利 :CN216262498U ,2022-04-12

[4]

一种PECVD炉管多功用清洁装置 [P].

张煌军 ;

赵鹏 ;

冉祖辉 ;

韩永清 ;

张志强 ;

史金超 ;

于波 .

中国专利 :CN220804857U ,2024-04-19

[5]

一种吹扫装置 [P].

刘陈斌 ;

李蕾 ;

许开华 ;

唐洲 ;

白亮 ;

佘敏 ;

刘至海 ;

连艳 .

中国专利 :CN220542589U ,2024-02-27

[6]

一种炉管检漏吹扫装置 [P].

陶金虎 ;

李娇 .

中国专利 :CN204389123U ,2015-06-10

[7]

一种防止PECVD炉管粉尘污染的装置 [P].

李永伟 ;

李继强 ;

刘祖利 ;

任良为 ;

马政 .

中国专利 :CN216337941U ,2022-04-19

[8]

一种粉尘回收装置 [P].

陈飞 ;

吴炜 ;

崔跃 ;

刘岗 ;

陶海涛 .

中国专利 :CN222368641U ,2025-01-21

[9]

一种PECVD炉管碎片、粉尘收集设备 [P].

周福深 ;

姚帅 .

中国专利 :CN223352457U ,2025-09-19

[10]

一种钢板表面吹扫装置 [P].

孙开裕 .

中国专利 :CN210474999U ,2020-05-08

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