纳米级精度压电驱动线性位移台

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201911235755.9

申请日：

2019-12-05

公开(公告)号：

CN110890850B

公开(公告)日：

2024-04-19

发明(设计)人：

徐金林许智

申请人：

松山湖材料实验室中国科学院物理研究所

申请人地址：

523000 广东省东莞市松山湖大学创新城A1栋

IPC主分类号：

H02N2/04

IPC分类号：

代理机构：

深圳市千纳专利代理有限公司 44218

代理人：

胡坚

法律状态：

授权

国省代码：

北京市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-04-19	授权	授权

共 50 条

[1]

纳米级精度压电驱动线性位移台 [P].

徐金林 ;

许智 .

中国专利 :CN110890850A ,2020-03-17

[2]

纳米级精度压电驱动线性位移台 [P].

徐金林 ;

许智 .

中国专利 :CN211405893U ,2020-09-01

[3]

一种纳米级精度压电驱动线性位移台 [P].

杨向通 ;

冯鹰 .

中国专利 :CN213990534U ,2021-08-17

[4]

基于柔性铰链的抬升机构及纳米级位移台 [P].

陈云龙 ;

毕海 ;

刘世昌 ;

夏怀亮 ;

黄泽铨 .

中国专利 :CN117856656A ,2024-04-09

[5]

压电驱动器及纳米位移台 [P].

徐金林 ;

许智 .

中国专利 :CN113280845A ,2021-08-20

[6]

压电驱动器及纳米位移台 [P].

徐金林 ;

许智 .

中国专利 :CN215639504U ,2022-01-25

[7]

一种微纳米级步进式压电驱动装置 [P].

李建平 ;

万嫩 ;

郁晨 ;

温建明 .

中国专利 :CN110768570B ,2020-02-07

[8]

刀具纳米级精度设计制造方法 [P].

胡贤金 ;

邱易 ;

杨冰 .

中国专利 :CN112100823A ,2020-12-18

[9]

一种高精度位移驱动台 [P].

吴坤 ;

盖洪峰 ;

段洪伟 .

中国专利 :CN117784537A ,2024-03-29

[10]

应变式微纳米级微纳米位移传感器 [P].

余永 ;

宋博 ;

杨卫超 ;

葛运建 .

中国专利 :CN101435690B ,2009-05-20

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