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闭环温度控制系统和温度控制方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202210752836.1
申请日：
2022-06-29
公开(公告)号：
CN117369561A
公开(公告)日：
2024-01-09
发明(设计)人：
姜云鹤
陈兴隆
孙元斌
韩禹
申请人：
沈阳芯源微电子设备股份有限公司
申请人地址：
110168 辽宁省沈阳市浑南区飞云路16号
IPC主分类号：
G05D23/24
IPC分类号：
代理机构：
上海恒锐佳知识产权代理事务所(普通合伙) 31286
代理人：
黄海霞
法律状态：
公开
国省代码：
辽宁省
沈阳市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-01-09 | 公开 | 公开 |
| 2024-04-19 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):G05D 23/24申请日:20220629 |