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等离子体处理设备
被引:0
专利类型
:
发明
申请号
:
CN201880037158.2
申请日
:
2018-07-05
公开(公告)号
:
CN111096081B
公开(公告)日
:
2024-04-12
发明(设计)人
:
D·万德克
M·哈恩尔
K-O·施托克
L·特鲁特威格
M·里克
申请人
:
奇诺格有限责任公司
申请人地址
:
德国杜德施塔特
IPC主分类号
:
H05H1/24
IPC分类号
:
A61N1/44
代理机构
:
永新专利商标代理有限公司 72002
代理人
:
韩长永
法律状态
:
授权
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2024-04-12
授权
授权
2025-06-27
专利权的终止
未缴年费专利权终止IPC(主分类):H05H 1/24申请日:20180705授权公告日:20240412
共 50 条
[1]
等离子体处理设备
[P].
D·万德克
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D·万德克
;
M·哈恩尔
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M·哈恩尔
;
K-O·施托克
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K-O·施托克
;
L·特鲁特威格
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L·特鲁特威格
;
M·里克
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M·里克
.
中国专利
:CN111096081A
,2020-05-01
[2]
等离子体处理方法和等离子体处理设备
[P].
奥村智洋
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奥村智洋
;
佐佐木雄一朗
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佐佐木雄一朗
;
冈下胜己
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冈下胜己
;
金成国
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金成国
;
前嶋聪
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前嶋聪
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伊藤裕之
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伊藤裕之
;
中山一郎
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中山一郎
;
水野文二
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水野文二
.
中国专利
:CN101053066A
,2007-10-10
[3]
等离子体处理设备
[P].
江家玮
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江家玮
;
徐朝阳
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徐朝阳
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廉晓芳
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廉晓芳
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范光伟
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范光伟
.
中国专利
:CN112530774A
,2021-03-19
[4]
等离子体处理设备
[P].
江家玮
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机构:
中微半导体设备(上海)股份有限公司
中微半导体设备(上海)股份有限公司
江家玮
;
徐朝阳
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机构:
中微半导体设备(上海)股份有限公司
中微半导体设备(上海)股份有限公司
徐朝阳
;
廉晓芳
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中微半导体设备(上海)股份有限公司
中微半导体设备(上海)股份有限公司
廉晓芳
;
范光伟
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机构:
中微半导体设备(上海)股份有限公司
中微半导体设备(上海)股份有限公司
范光伟
.
中国专利
:CN112530774B
,2024-04-05
[5]
等离子体处理设备
[P].
S.R.库尔森
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S.R.库尔森
;
F.霍珀
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F.霍珀
;
C.E.金
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C.E.金
.
中国专利
:CN104040678A
,2014-09-10
[6]
等离子体处理设备
[P].
田村一成
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田村一成
.
中国专利
:CN101500370A
,2009-08-05
[7]
等离子体处理设备
[P].
松本直树
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松本直树
;
吉川润
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吉川润
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佐佐木胜
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佐佐木胜
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加藤和行
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加藤和行
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四方政史
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四方政史
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高桥慎伍
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高桥慎伍
.
中国专利
:CN101505574A
,2009-08-12
[8]
等离子体处理设备
[P].
马绍铭
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马绍铭
;
弗拉迪米尔·纳戈尔尼
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弗拉迪米尔·纳戈尔尼
;
D·V·德塞
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D·V·德塞
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瑞安·M·帕库尔斯基
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瑞安·M·帕库尔斯基
.
中国专利
:CN110870038B
,2020-03-06
[9]
等离子体产生装置和等离子体处理设备
[P].
杨靖
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深圳市恒运昌真空技术股份有限公司
深圳市恒运昌真空技术股份有限公司
杨靖
;
刘涛
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深圳市恒运昌真空技术股份有限公司
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刘涛
;
乐卫平
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深圳市恒运昌真空技术股份有限公司
深圳市恒运昌真空技术股份有限公司
乐卫平
;
宋成
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深圳市恒运昌真空技术股份有限公司
深圳市恒运昌真空技术股份有限公司
宋成
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张文杰
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深圳市恒运昌真空技术股份有限公司
深圳市恒运昌真空技术股份有限公司
张文杰
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谢幸光
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机构:
深圳市恒运昌真空技术股份有限公司
深圳市恒运昌真空技术股份有限公司
谢幸光
.
中国专利
:CN118400855A
,2024-07-26
[10]
等离子体处理设备和等离子体处理方法
[P].
菅井秀郎
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菅井秀郎
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井出哲也
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井出哲也
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佐佐木厚
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佐佐木厚
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东和文
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东和文
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中田行彦
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中田行彦
.
中国专利
:CN1670912A
,2005-09-21
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