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一种用于显示屏的酸性双氧水体系的蚀刻液添加剂、蚀刻液及其制备方法

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202311640053.5
申请日：
2023-12-04
公开(公告)号：
CN117660964A
公开(公告)日：
2024-03-08
发明(设计)人：
徐萍 张伟
申请人：
江苏晶久微电子材料有限公司
申请人地址：
213000 江苏省常州市金坛区华洲路1号
IPC主分类号：
C23F1/18
IPC分类号：
代理机构：
南京协行知识产权代理事务所(普通合伙) 32493
代理人：
蒋浩
法律状态：
公开
国省代码：
江苏省
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2024-03-08 公开 公开
2024-03-26 实质审查的生效 实质审查的生效IPC(主分类):C23F 1/18申请日:20231204
共 50 条
[1]
一种用于IGZO导电薄膜的草酸系蚀刻液添加剂、蚀刻液及其制备方法 [P]. 
徐萍 ;
张伟 .
中国专利 :CN118580859A ,2024-09-03
[2]
一种酸性蚀刻液添加剂及酸性蚀刻液 [P]. 
侯延辉 .
中国专利 :CN107747094B ,2018-03-02
[3]
一种铜蚀刻液用双氧水稳定剂及铜蚀刻液 [P]. 
王锁 ;
吴际峰 ;
王维康 ;
何烨谦 ;
黄德新 ;
龚升 .
中国专利 :CN118422199A ,2024-08-02
[4]
一种用于TFT‑LCD显示屏的酸性蚀刻液添加剂 [P]. 
白航空 .
中国专利 :CN107130244A ,2017-09-05
[5]
一种双氧水蚀刻液 [P]. 
高晓义 ;
陈益钢 .
中国专利 :CN120843100A ,2025-10-28
[6]
一种显示屏用酸性蚀刻液 [P]. 
白航空 .
中国专利 :CN107620066A ,2018-01-23
[7]
一种双氧水稳定剂及双氧水蚀刻液 [P]. 
高晓义 ;
刘翘楚 ;
季冬晨 ;
苏双峰 ;
胡正山 ;
胡杭剑 .
中国专利 :CN106884167A ,2017-06-23
[8]
一种稳态高双氧水铜蚀刻液及其制备方法与应用 [P]. 
侯军 ;
彭仁杰 ;
曹莉芳 ;
张敬坤 ;
何佳丽 ;
刘海林 .
中国专利 :CN120625054A ,2025-09-12
[9]
一种硫酸双氧水蚀刻液双氧水分解装置 [P]. 
罗欢 .
中国专利 :CN216687786U ,2022-06-07
[10]
一种硫酸双氧水蚀刻液双氧水分解装置及其分解方法 [P]. 
罗欢 .
中国专利 :CN114180770A ,2022-03-15
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