基板测量装置以及基板测量方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202180098132.0

申请日：

2021-05-17

公开(公告)号：

CN117337390A

公开(公告)日：

2024-01-02

发明(设计)人：

竹田浩之高桥悌史河野裕之

申请人：

三菱电机株式会社

申请人地址：

日本东京

IPC主分类号：

G01N21/956

IPC分类号：

代理机构：

北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112

代理人：

何立波;张天舒

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-01-16	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):G01N 21/956申请日:20210517
2024-01-02	公开	公开

共 50 条

[1]

测量装置、测量系统、基板处理装置以及测量方法 [P].

浦川浩介 .

中国专利 :CN115148570A ,2022-10-04

[2]

微粒测量方法、用于测量的基板、以及测量装置 [P].

古木基裕 ;

今西慎吾 ;

筱田昌孝 ;

铃木明俊 ;

三宅和司 .

中国专利 :CN101424612A ,2009-05-06

[3]

基板温度测量装置及基板温度测量方法 [P].

中原健 ;

川崎雅司 ;

大友明 ;

塚崎敦 .

中国专利 :CN101802574A ,2010-08-11

[4]

基板温度测量装置及基板温度测量方法 [P].

朴永秀 ;

孙侐主 ;

朴商弼 ;

柳守烈 ;

金永镐 ;

金学杜 .

中国专利 :CN111089659A ,2020-05-01

[5]

基板浮起装置以及基板浮起量测量方法 [P].

滨川健史 ;

森俊裕 ;

奥田哲也 .

中国专利 :CN103662694A ,2014-03-26

[6]

基板测量方法和基板测量控制装置 [P].

郑东燮 ;

金鹤龙 .

韩国专利 :CN118258820A ,2024-06-28

[7]

基板翘曲测量装置及测量方法 [P].

何清燕 ;

蒋辉霞 ;

曹合荣 ;

李光辉 ;

王利 ;

廖功磊 ;

郑宇 ;

陈爽 .

中国专利 :CN117238812B ,2024-04-05

[8]

测量装置以及测量方法 [P].

中岛光康 ;

山本量平 .

中国专利 :CN105381587A ,2016-03-09

[9]

基板玻璃测量系统及基板玻璃测量方法 [P].

李青 ;

李赫然 ;

任晓金 ;

赵艳军 ;

张桂龙 ;

郑连军 ;

刘志彪 ;

韩双库 ;

侯海波 .

中国专利 :CN114777708A ,2022-07-22

[10]

基板玻璃测量系统及基板玻璃测量方法 [P].

李青 ;

李赫然 ;

任晓金 ;

赵艳军 ;

张桂龙 ;

郑连军 ;

刘志彪 ;

韩双库 ;

侯海波 .

中国专利 :CN114777708B ,2024-07-23

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